一、公司介绍：

本次Topcon微损设备，就是直掺设备，目的是把表面的硼原子通过激光，推进 到硅里面。后道再通过清洗印刷实现选择性掺杂的结构。公司的产品是激光一道 工序，当然公司在一年多前，一道和二道都有成熟的设备，公司也与多家头部客 户（除晶科外，还有多家）在研发端做了很多实验配合，有些客户也下单采购 过，不管一道和二道工序，公司都是领先的，目前二道工序也有一些客户也在选 择。总结：硼原子的激光掺杂工艺设备。

二、Q&A

Q：公司的直掺杂设备，是否需要其他设备的配合？对应单gw价值量情况？

A：二掺是用激光开模，之后通过激光清洗，然后再需要二道的硼扩设备进行推 结。问题是硼扩设备作业相对周期比较慢，可能需要几个小时，同时硼扩是个高 温设备，对于电等耗费比较高。所以这道工序除了设备投入比较多以外，运营成 本也比较高，设备可以折旧摊销，但运营中耗电成本较高，随着硅片生产越多、 成本较高。虽然这种模式也有人选择，但是客户也在评估。

其实公司研发的比较早期，在大半年前，公司就把样品做出来了，包括提效等公 司在工艺打样阶段就实现了提效，后来晶科觉得公司技术比较前沿，甚至很多在 原理上行不通的技术，公司都做了突破，然后公司就跟晶科的研发团队一起往下 做，在这半年其实也遇到了很多量产中的设备，双方对所遇到的问题一一进行克 服。比如：硼原子是很惰性的院子，在原理上怎么推下去，推下去的难度是表面 会结垢，对表现金字塔结构出现严重损伤，电子少子会出现问题，虽然形成了一 定结深，但对硅片的损伤会降低转换效率，举例，直掺工艺可能提升了0.3%的 效率但是因为对硅的损伤导致效率下降0.4%，所以通过光原理，并不能确定性 进行提效。公司通过激光器自主研究、设计，进行一些参数进行设定，所以做出来了真正的 提效，能够实现在掺杂的同时，对表现不产生损伤或者微损。现在是激光+硼扩 +清洗，但公司目标后续量产之后（现在一些小批量实验也证明了），公司产品 可能会把清洗这个环节去掉。

Q：对应产能？单gw价值量？提效水平？

A：单gw价格不方便说，只能说，硼原子比磷原子难很多，公司用的激光头数 要比P多很多。半年前效率就可以提0.2%，效率在持续提升中，目标是提效 0.4%。

Q：公司为什么能短时间内突破？

A：公司有自主的激光器器的能力，激光器已经做了10年了，10年前紫外纳秒激 光器已经很成熟，国内大部分做的是水冷激光器，而公司做的是风冷激光器。包 括公司也得到了政府多个项目奖，体现了公司的技术实力。公司之前激光器大部 分是自产自用，根据客户需求，公司激光器可以做独立设计，这块是公司独到 的、其他企业不具备的优势。

为什么公司能快速推出这项产品，分享一下过程：我的专业是激光工程应用，在 英国利物浦大学读的书、导师是世界激光应用之父，激光是1961年发明的，他 1967年做了激光应用的科学。所以我对激光应用了解是比较深的，公司皮秒、 飞秒、紫外、绿光、纳秒等激光器出了几千套，应用于3C和锂电特斯拉等板块 和客户。提供去年一年之前，我们就把半导体、硼、硅、电子等研究明白，通过 直掺的物理模型分析，发现没有标准的激光器可以实现直掺的工艺，后来，公司 通过热场分部模型反推激光器工艺参数，然后再通过参数做出激光器之后再反推 激直掺的效果，发现和理论接近，包括对损伤做了优化处理，所以最后做出了这 款产品。

公司在高精密领域的激光器基本都是自制的，光伏这块激光器目前完全是自制， 公司的激光器参数并不输于全球领先的激光器企业，只是不对外买，公司的激光器不见得是最好的，但是肯定是更适用于客户定制需求和应用，公司可以根据客 户需求，做激光器参数优化。

Q：其他工艺布局情况？

A：BC最近跟头部企业在研发，不仅做PBC、也做NBC。从技术上来说，PBC相 对容易，光斑可以从5μm的圆形光斑做到300μm的方形。外采激光器有一些问 题，二次硼扩环节激光器如果外采，外采激光器的效果会十分不稳定，国际一线 品牌的激光器我们也试过，4-5台机可能才会挑出一台来能达到所需效果，或者 即便效果能做出来，但是3-4天就发生变化。这些问题都是因为激光器中相差、 测算的问题。在标准行业，这些问题不是问题，但是在光伏行业，这些问题就变 成了问题，公司在谐振器、一级二级放大、热透镜、泵浦源等，按照需求都做了 专业化的改进，所以其他企业要做几年、但是公司可能几天就可以出来。公司在 3C锂电研发的基础都帮助公司迅速实现技术突破。

HJT分片上，公司也有实现一些订单。公司在5-6年前，在薄膜太阳能电池，钙 钛矿等，从 P0-P5都是标准机器，难度是1分8、1分16的分光，从最早是10级年前纳秒激光 器，现在皮秒飞秒激光器，公司都有应用。

组件端，除了标准二分片无损激光，公司也做了全新创新——比如，组件切线 盒，现在基本都是用锡，而用锡良率不高、稳定性差、成本高，6个点的锡量1 年材料费20-30多万，公司研发出的激光焊产品，通过焊接可以省掉这块费用。 公司在锂电等领域有类似的工艺，所以有跨行业应用的经验。

Q：公司目前有多少人在从事激光相关的研发、生产和销售工作？

A：我们这个部门一年多前年叫做公司的激光研发部，属于集团研发业务范畴。 早期研发过给3C行业A公司所有应用，后来研发过锂电的极耳切割、顶盖焊接 等。利用的激光器有部分是自研的，有部分是使用IPG的。去年公司董事长宣布 进入光伏行业，我们目标并不是去抄谁的工艺，我们研发部门去年一整年100多 号人，除去很大一部分在做激光器的研发外，其他大部分都在和光伏客户做合作研发，充分挖掘他们的痛点、发现行业内还没有解决亟待解决的问题，只有给客 户带来价值、我们才有价值，而不是抄别人的东西。我们是建立在研发基础上， 做了一整年才发展成为今天的光伏事业部。

Q：公司这次的激光器采取了怎样的领先技术？领先性可以在市场上持续多久？

A：基于技术保密性，我不方便多说。激光器、光路等工艺，其本身就是我们的 核心竞争力，只能说我们做出来了，但具体细节不方便多说。领先性上，不好去 评价对手的能力，之前大家都说硼掺杂很难做，而且有些比较老的专家说原理上 行不通，现在与晶科合作研发后，我们实实在在做出来了，而且还能做到电池的 提效。

Q：领先性能否说的再细一点点？

A：先需要有方向，有了方向后再去做设计，之后出来工程样机，工程样机稳定 后成为设备，公司将设备做到小批量、中批量才能证明设备OK了。之后找到客 户做研发改进，因为客户前中后段有很多道工序相互制约，如果中间遇到什么问 题还需要再回来更改激光器。之后得多拿几台激光器来验证一致性，这是一个完 整的周期，步骤很长。

Q：经过使用公司的硼掺杂设备后，将硼扩完后还要进扩散炉吗？

A：不用进扩散炉。之后想办法清洗去掉就好。

Q：设备的稳定性如何？已经经过了百万片电池的试跑？

A：最早的一波试跑，在半年前已经完成，通过改进后，在客户端一直在跑。

Q：晶科这次招标体量较大，至少有几十GW，交付的节点，老线还是新线？

A：公司交付能力没有问题，公司4000-5000人，常州有几百亩的厂房，公司是 集团型企业，峰值订单来了后公司会统一调配，常州生产人员有1000多人，也 会从锂电调资源，所以几个月的峰值生产可以满足，因为总人数够。交付周期主 要看客户的需求和通知。

Q：客户先把预付款给到公司还是预付款也是分批给？

A：公司会按照行业标准的付款方式。

Q：定价模式如何？

A：主要根据成本来，机械类研究员比较清楚，激光行业设备的成本差价比较 大，光伏相比3C、钣金切割对激光器需求不算大，光伏一年全行业需求几百/千 台，钣金切割需要十万台，公司的很多器件成本很高，国外的核心器件因为关口 的问题进口较难，国外的产能还存在抢货加价的问题。所以公司激光器的成本比 较高。这个行业量不大，如果一年10万套需求，成本肯定是好降的，但如果只 有几千套成本比较高。虽然激光器公司可以做谐振腔、放大腔的结构设计，但是 激光器里面核心的芯片，脉冲模块等，公司需要依靠国际上的核心供应商，所以 成本压力是有的。

Q：传统的二次掺杂是硼扩完之后要用激光开槽，然后再进行一次清洗、硼扩、 然后再清洗，而公司的激光工序后面不会再有第二次硼扩和清洗的过程了？

A：对的。

Q：激光的作用不是开槽，而是直接在栅线等硼原子密度更高的部位用激光进行 掺杂？

A：不是开槽，它表面的硼原子推进形成一个结身，推进硅里面，这个行业里也 叫掺杂。

Q：掺硼的过程中，一次难度非常大是因为本身由硼原子和磷原子巨大的物理上 的这个差异造成的，这也是设备价值量比较高的原因？

A：价值量比较高主要因为硼的整个效率要比磷慢，所以公司的激光器用的多， 这个行业的量不大导致公司的很多器件比较贵，好在公司有做一些别的行业，有 些器件相对通用一些，也有备货，所以掺硼的单体成本高，而且激光器用的又 多，所以价值量会更高。

Q：设备要控制得比较好需要一方面既实现精准的硼掺杂，另一样方面要保持对 硅片和电池片的损伤要降到最小。所以这个难度是很大的？

A：做出一些掺杂的效果，虽然说有难度，但不至于难到非常高的地步。做完结 构后，理论上可以提0.3%的效果，但如果其他控制不好，那就会降0.3甚至 0.4，这样就做成一个负提效的东西。公司做的一个是表面结构控制好，其次， 里面还有很多电子、尺层的问题，在掺拉同时要把这些变成尺层，但它会影响效 率，所里对于这里的损伤公司做了很多理论分析模拟，实践反复验证才能得出最 后的结果。在这个过程中需要做批量测试，拉出正态分步的数据，提效的结果才 可行。

Q：所以这个行业大客户的配合很重要，一方面客户在这方面投入很大，另一方 面客户也愿意和设备公司一起去做研发测试，甚至试错。所以这也是其他公司进 入这个行业的壁垒？

A：这肯定是一个原因，算是强强联合。在这个行业内，公司第一次打样就做了 几次，给客户带来了惊喜，客户看到了潜在的很大的希望和机会，客户的研发投 入也比较大，大家也愿意在这个事上多花精力，那公司就会选择和客户一起共同 开发，这个过程大概半年的时间。

Q：公司之前在锂电行业没有那么突出，为什么在光伏毛利率比锂电还要高的行 业中，公司可以一下子获得这么大的这个订单？公司团队的背景？

A：公司早期就做了很多的布局，赵总是国企研究所出来的，之前做光学隔膜研 究，他也是法国尼斯大学的博士，一直从事光学薄膜方面的研究，很早期赵总就 引进了很多海归的自动化团队；张总，是香港理工的软件学博士，同时在新加坡 工作过，做软件架构；田总，新加坡人，清华毕业，ASM的机械总工，一直做 半导体技术和半导体设备；蒋总是公司软件架构的人才，给公司搭建整个大的软 件架构，以前在瑞士银行做了八年的软件架构师。工艺方面公司有两位大拿：彭 总，中国台湾人，零几年就到大陆，中国第一批做精密加工的人才，另一位做脆 性材料的Alex，是俄罗斯人，他的导师是俄罗斯比较著名的院士。所以成功切入 光伏是基于早期搭建的团队。核心技术团队搭建起了有光、机、电、软工艺的基础，公司现在也有个几百人的新能源研究院，主要做理论研究，把一个工艺做 好，很多时候需要有理论的支持、概念、模型和方法。

Q：激光的技术相当于在原来topcon的产线上附加一些工序，整个工序流程其 实变长了，这个对良率是否有影响？

A：良率没有影响，因为本身激光是全新的精密自动化，但它基本上没有其他化 学和一些多余的工艺制程，而且本身激光制程就是一个很稳定很可靠的工艺，所 以说这套工艺带进来不会带来额外的这种碎片率或者不良的产生。

Q：设备投资相对来说是可以去摊的，主要成本是运营端，这个成本对于电池下 游客户来看能不能衡量它有多大的一个增量？

A：成本基本很少，因为激光本身不是一个高温工艺，本身耗电量非常少，又不 是像湿法一样需要药水等，激光是一个无接触无耗材的一道工序。

Q：假如两家公司都买了公司的设备，他们在应用效果上或者这个适配性上会不 会有这个差异？对这个下游企业还有什么样的要求？

A：工艺上没有太大差异，顶多是一些小的差异，比如硼扩的参数和条件，硬件 上基本不会有。激光很多也是可以设置的，每家的图形化不一样，可以在激光软 件上进行设计。

Q：内部产线规模？出货量？

A：不方便说。

Q：一道工序中用了多少个激光器？激光器功率多少？不同功率的激光器差异？

A:不方便说。本身难度就在于激光器光路工艺设计。

Q：从正式研发到取得突破，大概用了多久时间？

A：用了一年。

Q：一年时间相对还是很短的，对吗？

A：我觉得还好。物理上的东西只要想通了、顺着这个方向走就好。其实我们前 半年就把基础理论的东西搞通了，后半年基本在做稳定性、工程化和一致性的问 题了。

Q：HBC上有无与客户接触？

A：从激光应用来说，PBC相对简单点，我们目前在研究一些NBC和PBC都能够 兼容的激光工艺和激光器，这在工艺上、样机上都实现了。目前公司在和国内最 大的一些头部客户的研发团队做HPBC的沟通交流和做样。

Q：N型IBC那边，我们有和头部客户交流？

A：对的。激光技术都经过了测试，并且我们的激光能够兼容N型和P型的。H型 的在和头部客户沟通做样。

Q：2021年公司成立光伏事业部，各条业务线的人员配置情况？

A：根据实际订单量和技术量，会进行一些分配。有时候我们也会和集团共用研 发资源，光伏是从零开始，接下来我们会努力做更多的工艺工序，帮助行业实现 降本增效，给客户带来价值，这样才能将光伏业务的体量进一步提升。

Q：效率提升0.4%是起步阶段，后续有无提升空间？

A：从结构原理上来说是提升0.5%，不排除之后新增工艺以及和其他结合，达到 进一步提效的。

Q：目前将效率提升了0.4%了吗？

Q：什么时候能够达到提升0.4%？

Q：掺杂聊的比较多了，开槽这边进展如何？

Q：BC电池开槽设备储备和进展情况，确认下目前情况目前也是比较好的是吗？

Q：与帝尔激光对比，公司的激光开槽设备的性能、成本优势如何？

Q：激光开槽设备大批量量产的时间点？

Q：光伏设备中，公司这边有硼掺杂、开槽设备，那激光无损划片设备有量产吗？

Q：激光无损划片量产是什么概念，是指类似于拿到了TOPCon的订单去做量产，还是只是小批量送样？

Q：关于TOPCon，硼掺杂可能持续几个小时，会不会使得硅片的生产节拍慢下来？

Q：公司在TOPCon上应用的激光硼掺杂设备最核心的零部件是什么？

Q：TOPCon激光硼掺杂设备，公司是全球唯一一家能够做的吗？

A：国内我还没看到有其他家在做。

Q：您有了解到帝尔激光等竞争对手关于在TOPCon上硼掺杂的研发进度吗？

A：不了解。我们遇到的客户，没有见到有别家在做该工艺的设备。

Q：晶科22、23年投产的所有的TOPCon产线都用了公司的设备吗？

A：不方便说。

Q：钧达、中来、天合、通威等都在做TOPCon，公司有给他们送样吗？设备在客户端的运行情况如何？

A：具体客户名不方便说，很多客户都在联系合作中。

$海目星(SH688559)$ $联赢激光(SH688518)$ $帝尔激光(SZ300776)$