22Q1刻蚀设备收入规模增长明显。22Q1实现9.49亿元收入，同比增57.31%；其中①、半导体刻蚀设备收入7.14亿元，同比增105.03%，受益于半导体设备市场发展及公司产品竞争优势；②、MOCVD设备收入0.42亿元，同比降68.59%，主要由于公司新签署的MiniLEDMOCVD设备规模订单在22Q1尚未确认收入导致。
　　在手订单充足，长期发展动能强劲，盈利能力持续提升。根据公司年报披露，截止2021年底新签订单金额达41.3亿元，同比增90.5%；我们认为公司在手订单持续增加、保障了未来持续地高成长：截止22Q1存货金额20.95亿元，较2021年底的17.62亿元增加18.88%；合同负债15.00亿元，较2021年底的13.72亿元增加9.28%。一季度毛利率从2021年的40.92%增长到45.47%，增加4.55pct；实现扣非归母净利润1.86亿元，同比增长1578.18%；公司盈利能力持续提升。
　　刻蚀设备、MOCVD设备快速发展，新产品布局不断丰富产品线。根据公司2021年报披露：①、CCP刻蚀设备产品保持竞争优势，PrimoAD-RIE、PrimoSSCAD-RIE、PrimoHD-RIE等产品批量应用于国内外一线客户的集成电路加工制造生产线；ICP刻蚀设备逐步趋于成熟，Primonanova产品已经在超过15家客户的生产线上进行100多个ICP刻蚀工艺的验证。②、用于MiniLED量产的MOCVD设备PrimoUniMax截止2021年底已收到国内多家领先客户的批量订单合计超过100腔；公司正在开发GaN功率器件量产应用的MOCVD设备，已启动应用于SiC功率器件外延生产设备的开发，不断丰富产品线。③、钨填充CVD设备获得阶段性进展，正与客户对接验证，并基于钨CVD设备进一步开发CVD和ALD设备。④、目前EPI设备已进入样机的设计、制造和调试阶段。
　　盈利预测及估值建议。我们预计2022E-2024E收入分别为45.45亿元、60.41亿元、79.10亿元，同比增46.23%、32.92%和30.93%；归母净利润（扣非前）分别为11.12亿元、13.74亿元、17.61亿元，同比增9.98%、23.56%和28.12%。介于市场担忧半导体周期见顶，疫情影响晶圆厂扩产，结合可比公司估值水平，给予公司2022E（PE）65x估值（原170x2021PE），对应合理价值117.33元/股（下调42%），维持“优于大市”评级。
　　风险提示：上游芯片价格持续增长；行业竞争加剧；公司产能保障不及预期；疫情持续恶化；海外需求恢复不及预期。
以上部分资料来自海通证券
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