【招商电新-新能源36版】PECVD可能会有比较大预期差
五一路牛仔
航行五百年的公社达人
2022-07-08 12:58:41
【招商电新-新能源36版】PECVD可能会有比较大预期差1、TOPcon电池基本由PERC电池的基础架构升级而来，正面没有本质区别，主要差异在背面钝化接触技术，即在电池背面制备一层超薄隧穿氧化硅，之后沉积一层掺杂多晶硅形成钝化接触结构；2、TOPCon电池的核心工序，目前主要有三种技术路线：LP/PE/PVD，其中LPCVD相对成熟，PVD方案同样值得期待，PECVD预期差大，这一技术路线依靠射频感应产生的等离子体实现薄膜沉积工艺，成膜速度快、节省能源、运营成本相对较低；3、TOPCon仍处在发展周期比较初期的阶段，因此在隧穿氧化层、多晶硅层的制备方面选择也比较多样（类似PERC早期）。继晶科能源、钧达股份等企业采用LPCVD推动Topcon大规模产业化发展后，PECVD可能是预期差比较大的技术路线，但不能说某种技术路线会一统江湖，还要看不同企业对不同技术的理解和掌握；4、PECVD与LPCVD目前设备造价基本在1.6-1.9亿元/GW附近，其中PECVD路线设备总投资额约为1.6-1.8亿元/GW，主要差异在于背膜沉积设备价值量约为3500-5000万元/GW，约占整线设备价值量的20-30%；其余设备价值量与LPCVD路线基本相同，估算未来几年电池设备年均市场空间将超过120亿元。5、我们判断PECVD可能会在下半年有较大规模的应用，PECVD路线放量可能会对相关供应商有比较显著的影响；相关标的：捷佳伟创（机械联合）、海目星（机械联合）、奥特维/帝尔激光（机械）、金辰股份（机械联合）、京山轻机（机械）、罗博特科（机械）。
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