半导体清洗设备龙头步入高速成长期
九九鸟
2021-11-14 18:21:11
至纯科技是中国半导体清洗设备龙头企业。公司的主营业务主要包括半导体湿法
清洗设备、高纯工艺系统、光传感应用及相关光学元器件的研发、生产和销售。
至纯科技半导体湿法清洗设备控股子公司至微科技拟通过增资扩股引入战略投
资者并进行部分股权转让，交易完成后，战略投资者持有至微科技的比例约
22%，增资方包括大基金二期、混改基金、中芯聚源、装备材料基金、芯鑫鼎橡、
远致星火等。公司2021 年前三季度实现营业收入12.83 亿元，同比增长68.71%；
实现归母净利润1.88 亿元，同比增长127.96%。
中国半导体清洗设备市占率极低，国产替代空间巨大。根据Gartner 统计数据，
2024 年预计全球半导体清洗设备市场销售额达31.93 亿美元，清洗设备在全球
半导体设备的市场销售额占比约为5-7%。2020 年全球半导体清洗设备市场基
本上被日本SREEN、日本TEL、韩国SEMES 和美国LAM 垄断，市场销售额合
计占比97.7%，国产厂商至纯科技、盛美中国、北方华创、芯源微等份额较低。
半导体湿法清洗设备业务步入高速成长期。至纯科技提供湿法设备，包含湿法槽
式清洗设备及湿法单片式清洗设备。该类设备可以应用在先进工艺上，主要为存
储（DRAM，3D Flash）、先进逻辑产品等。目前至纯科技是国内能提供到28
纳米节点全部湿法工艺的本土供应商。目前公司湿法设备客户包括中芯国际、华
虹集团、长鑫存储、华为、华润、燕东、台湾力晶等。2021 年上半年，至纯的
湿法设备业务新增订单达4.3 亿元，其中单片设备2 亿元。湿法清洗设备业务
20 年收入为2.2 亿元，我们预计21-22 年收入为7.68 亿元和13.90 亿元。
半导体高纯工艺系统将保持平稳增长。泛半导体工艺伴随许多种特殊制程，会使
用到大量超高纯（ppt 级别）的干湿化学品，这是完成工艺成果的重要介质，其
特点是昂贵并伴随废气液排放。在集成电路领域，高纯工艺系统主要包括高纯特
气系统、大宗气体系统、高纯化学品系统、研磨液供应及回收系统、前驱体工艺
介质系统等。其中，各类高纯气体系统主要服务于几大干法工艺设备，各类高纯
化学品主要服务于湿法工艺设备。目前公司高纯工艺系统客户包括中芯国际、华
虹华力、华润、士兰微、长江存储、长鑫存储、海力士，三星，台积电，力晶等。
盈利预测、估值与评级。至纯科技是国内高纯工艺系统的龙头，目前湿法设备进
展顺利，有望成为国内高端湿法设备的领先者，随着公司一线客户的不断扩张以
及下游需求的持续增长，公司有望迎来快速发展。我们预测至纯科技2021-2023
年的归母净利润分别为3.47、3.81、5.55 亿元，当前市值对应的PE 分别为51x、
46x、32x，首次覆盖给予“买入”评级。
风险提示：国产化进度不及预期，晶圆厂扩张不及预期，技术研发不及预期。
公司盈利预测与估值简表
指标 2019 2020 2021E 2022E 2023E
营业收入（百万元） 986 1,397 2,307 3,266 4,159
营业收入增长率 46.34% 41.63% 65.13% 41.57% 27.34%
净利润（百万元） 110 261 347 381 555
净利润增长率 239.88% 136.36% 33.12% 9.75% 45.65%
EPS（元） 0.43 0.85 1.09 1.20 1.74
ROE（归属母公司)（摊薄） 7.43% 8.29% 10.09% 10.14% 13.09%
P/E 129 65 51 46 32
P/B 9.6 5.4 5.1 4.7 4.1
资料来源：Wind，光大证券研究所预测，股价时间为2021-11-09；
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至纯科技
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