国内对量检测重视程度还有很大提升空间，梳理了行业竞争态势，我们相信精测电子将脱颖而出！

#量检测设备进口比肩刻蚀沉积，进口替代空间有所低估：
传统估计，量检测设备约占全部设备开支的约10%+。但2022年国内进口光学检测（33亿美元）与电子束检测设备（12.26亿美元），合并已超过刻蚀（37亿美元）或CVD（37亿美元）的进口金额。国内FAB厂研发新制程、提高良率、保持良率，产生大批量检测需要，量测已成为最大的单项设备市场之一，国内企业有在此领域大有可为。

#"小曝光机"明场设备，风浪越大鱼越贵
明场有图形设备占量测设备采购量20%+，采用193nm波长的宽频等离子光源，与浸没式曝光机的主光源波长相同，国外价格达数千万美元，有极高的技术壁垒；明场设备的镜头、照明系统、工件台、测试台、对准系统与曝光设备存在大量相似，整机集成难度高。 精测已斩获两台明场检测设备订单，并完成首台交付，有望在后续竞争中取得领先优势。

#电子束测量精度高产线用量大，精测产品进展顺利
电子束设备（DR-SEM,CD-SEM,EBI,FIB）是另一大细分类设备，其理论测量精度上限极高，3D结构成像能力强，在FINFET，3D NAND ，DRAM等产线中渗透率呈提升趋势。精测电子的DR-SEM电子束设备已取得多家客户批量性订单，CD-SEM（电子束中用量最大）正紧密研发中，未来有望获得较多市场份额。

#精测电子：成长性优越，半导体设备的最强阿尔法
量检测整体国产化率只有3-4%，电子束与明场两大类设备，占量测设备整体近50%；上述领域的半壁江山中，公司已乘风破浪扬帆起航。此外，精测电子还有OCD测量、膜厚测量、硅基OLED/XR检测等业务加持。我们相信，KLA能够与AMAT和LAM在北美三足鼎立，精测电子也有望成为国内设备一线TOP企业！