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28nm国产线设备梳理（转）

选对股买对时

中线波段的公社达人

2021-05-30 16:14:54

28nm国产线设备供应商
光刻：上海微电子
涂胶显影：芯源微
去胶：屹唐半导体（科创板IPO辅导中）
刻蚀：中微公司，北方华创
CVD：沈阳拓荆（科创板IPO辅导中）
PVD：北方华创
炉管（热处理）：北方华创
CMP：华海清科（科创板IPO已申报）
清洗：至纯科技
离子注入：万业企业，中科信
量测：上海精测（精测电子），中科飞测

中微公司
28nm国产线承担介质刻蚀设备，占价值量的10%+，潜在供应硅刻蚀设备，合计占价值量20%+。参股公司沈阳拓荆承担PECVD设备，占价值量10%+。
刻蚀：正在研发更关键和高难度工艺，CCP10+亿元，NAND128层极高深宽比、logic先进大马士革工艺等，ICP2+亿元，保持每年翻倍以上增长，介质+硅刻蚀工艺，NAND台阶工艺进展顺利，另外CCP和ICP在DRAM客户进展顺利。预计50%以上增长，20亿元收入，未来3-5年复合50%左右增长。订单交期3.5-4个月，验收1.5个月。产能：11个组装工作台，单台0.5个月，单月产能22台。单腔750万元。
MOCVD：Q1收入1.3亿元，同比+70%，主要是深紫外MOCVD，毛利率回归30%-35%，Mini LED已经发货，客户验收中，新的订单在谈，近期正式发布Mini产品，今年打基础，明年快速放量。预计今年5亿元收入。订单交期6个月，验收3-6个月。LED单腔700+万元，Mini LED 1000+万元。
新产品：CVD+EPI研发团队已组建，研发进展顺利，LPCVD与EPI预计22年正式推出设备产品，客户验证顺利的话，最快22底开始确认部分收入。
订单：20年全年订单出货比Book to Bill ratio 1.2-1.3，21Q1达到1.7，新签订单增长超预期。
参股：投资上海睿励，沈阳拓荆，理想万里晖等。
盈利预测：21年收入30亿元，扣非3-4亿元；25年100+亿元，净利润25-30亿元。市值700亿元。

北方华创
28nm国产线承担硅刻蚀、金属刻蚀设备+PVD+炉管（热处理）等，占价值量的20%。
北方微电子：泛半导体设备设备预计收入55-60亿元，其中IC设备30-40亿元，光伏电池片设备10+亿元，功率半导体5-10亿元；真空设备10+亿元，电子元器件12+亿元
盈利预测：预计21年收入80亿元，归母净利润8亿元，PE 100倍。市值930亿元。

至纯科技
28nm国产线承担单片湿法清洗设备+高纯工艺，占价值量的10%+。单片湿法清洗设备合计10台订单，价值量约3亿元，平均单价约0.3亿元，8腔普通工艺单价350万美元，12腔普通工艺单价500万美元。7-12月集中交付，计划年内全部完成交付。
20年新签订单19.6亿元，其中半导体板块订单13.6亿元，半导体高纯工艺订单8.3亿元，湿法设备订单5.3亿元（单片3.66亿元+槽式1.64亿元）。21年1-4月新签订单超过9.5亿元，全年目标25亿元。
高纯工艺预计收入10+亿元；湿法清洗设备预计收入约6亿元，单片设备3亿元，槽式设备3亿元，槽式设备20年交付30台，今年单月交付3-4台；光传感及光器件预计收入约4亿元。
盈利预测：预计21年收入20亿元，净利润3亿元，扣非净利润2.3亿元。市值110亿元，PE 40倍左右。

芯源微
28nm国产线承担涂胶显影设备，占价值量的4%。
前道涂胶显影：inline设备，i-line涂胶显影机在华力集成已经通过验收并取得重复订单，在长江存储处于量产验证阶段，KrF涂胶显影在合肥长鑫验证，ArF涂胶显影在上海积塔验证；offline设备，BARC、PI涂胶显影在华力集成已经通过验收并取得重复订单，在中芯北方年内确认收入并取得重复订单。
前道干法物理清洗：采用spin scrubber技术。客户包括华力集成、中芯绍兴、士兰集科、青岛芯恩等，在干法物理清洗领域累计订单40+台。
盈利预测：预计21-22年收入5.9/9亿元，净利润0.8/1.3亿元，市值85亿元，PE 100/65倍。

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北方华创

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