【中泰电子|芯源微】前道设备放量强劲，持续推荐

前道设备快速放量，大客户持续突破。公司22年H1营收、净利实现大幅增长，主要系各类设备的放量出货：1）包括KrF在内的前道涂胶显影设备均实现了批量销售；2）前道物理清洗设备，2022年H1获得中芯国际、上海华力等大客户的重复订单。

28nm技术取得突破，成长动能强劲。22H1公司在涂胶显影28nm技术上取得重要突破：光刻胶涂覆缺陷及成本控制技术、在线式工艺缺陷检测技术均达到国际先进水平；高产能架构方面也取得相应进展，未来可覆盖浸没式等前沿光刻技术。

临港项目紧张进行，奠定高端业务产能基础。公司募投项目上海芯源微临港生产基地，已于22H1完成了整体设计和土地打桩，工程建设仍在进行中。公司计划用募投资金2.5亿元增资上海芯源微，给予临港项目充分的资金保障。临港项目计划投资6.4亿元，达产后主要生产前道ArF涂胶显影机、浸没式涂胶显影机、单片化学清洗机等高端设备。

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风险提示：晶圆厂资本开支不及预期；产品验证不及预期。

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