《三体》中，为了向三体世界发送探测器，程心对脉冲推进设想做出创新：用上千颗

核弹爆炸产生的辐射能，推动探测器加速。PIA利用这一设想，成功将探测器加速至光

速的1%，完成了举世瞩目的阶梯计划。而这距人类实现可控核聚变、开发宇宙飞船、

用正常的路子达到准相对论速度，提早了至少100年。 同步辐射光源可以实现将光刻机

光源外置，用一台周长100~150米的环形加速器作为光源，然后带动数台甚至数十台光刻

机进行工作，围绕光源建成光刻工厂。

     目前EUV光源有四种实现模式——LPP、SR、SRF-FEL、以及SSMB。荷兰

ASML最先进的光刻机，使用的就是LPP模式， 通过一台功率大于20 kW的二氧

化碳气体激光器轰击液态锡形成等离子体，从而产生13.5 nm的EUV光。通过不断

优化驱动激光功率、EUV光转化效率、收集效率以及控制系统，LPP-EUV光源目

前能够在中间焦点处实现350 W左右的EUV光功率，该功率水平刚达到工业量产

的门槛指标。产业界认为LPP光源未来可以达到的EUV功率最高为500 W左右，想

要继续将EUV光刻向3 nm以下工艺节点推进，LPP-EUV光源的功率将遇到瓶

颈。 

     SSMB光源属一种新型粒子加速器光源“稳态微聚束” ，因为微聚束辐射的强相干特

性以及储存环内电子束的高回旋频率特性，所以可提供高平均功率、窄带宽的相干辐射，

波段可覆盖从太赫兹到软X射线。 与锡蒸汽光源相比，13.5nm极紫外光可以产生超过

1000W的辐射功率，是锡蒸汽光源的2倍，单色性更好。而且，通过这种方式还能筛选出

波长更长或更短的光束，我们就能造出1nm甚至更小的芯片，发展前景非常大。不难看

出，其品质要远好于ASML的锡蒸汽光源。

      早期的极紫外光就是靠大型电子加速器的，这次清华团队把加速器再次请出来，采用将

加速器的同步辐射与自由电子激光结合起来，就输出了单色性极好的EUV极紫外光。 高能

同步辐射光源的实现对物理、化学、能源、环境等学科的前沿基础研究与应用基础研究可

以提供前所未有的工具和手段，有望帮助我国EUV光刻实现跨越式发展。该概念源自2010

年斯坦福的中国台湾籍教授赵午（他的导师叫杨振宁），2017年清华大学唐传祥与赵午联

合发起实验，2022年1月完成概念验证阶段，2022年3月发表论文，2023年装置落地雄

安新区和上海张江高科园区。中国科学院高能物理研究所南方光源（松山湖光源）也即

将正式落地。

       每一代人都有每一代人的上甘岭，芯片/光刻机就是我们这一代的战场，遗憾的是上一

阶段我们暂时失利了。

       不追求单项技术的先进性，追求总体设计的合理性高效性，以总体设计负责对各个系

统的技术协调。这一颠覆性的方案，不拘泥于传统的芯片制造方式，而是勇敢地走上了一

条全新的道路，将光刻机转化为巨大的光刻工厂。ASML也许真的，以后没有机会卖顶尖光

刻机给我们了。无怪乎美国彭博社都暴露了西方数百年窃取中国科技的历史。

        反攻的号角已然吹响，想对那些还在用西方经验套用在中国身上的人说一句：别再用

老眼光看中国了，中国人有着独特的聪明特质和创新精神。按教员的思路来讲反卡脖子战

争是持久战，防御、相持、反攻，我们也必将取得战争的最后胜利。