严总您好，本月除“基于飞秒激光的太赫兹时域光谱仪开发”结题外，“软X射线/极紫外无谐波光栅单色仪”本月也结题？现在已经开发完成的产品主要有哪些？分别应用在那些领域？...

您好，“软X射线/极紫外无谐波光栅单色仪”项目目前按正常进度申请结题验收。开发完成的产品有单级衍射光栅、单级衍射光栅谱仪、软X射线无谐波光栅单色仪等。其中软X射线无谐波光栅单色仪，以单级衍射光栅为核心部件，应用在相关研究机构的同步辐射装置上，用于相应的科研工作。感谢您的关注。

 “软X射线/极紫外无谐波光栅单色仪”在X射线光学技术领域取得的系列重要成果，瞄准惯性约束聚变、同步辐射、空间科学和材料科学研究等国家重大应用需求，项目成果在惯性约束聚变、同步辐射、空天探测技术和国防特种材料分析领域得到了重要应用。项目研制的“软X射线/极紫外无谐波光栅单色仪”已分别装备于ICF研究当地X射线光学元件标定平台、空间探测EUV地面定标系统和国防特种材料UPS分析系统等。以“软X射线/极紫外无谐波光栅单色仪”为基础，在北京同步辐射光源13号厅研制建立了国际首条EUV无谐波束线。

单级衍射光栅

光栅在光刻机中的应用是十分重要的，光栅可以提高分辨率、控制光束的聚焦和辐射，还可以实现精细的微纳加工

单级衍射光栅对纳米加工技术提出的要求就 是纳米级的分辨能力、较高的效率和陡直剖面. 这 对现有的微纳加工技术而言, 电子束光刻技术、X 射线光刻技术以及微电镀技术是较好的选择

大恒科技为中国科学院物理研究所常年提供科学仪器