碳化硅长晶设备专家交流精华
夜长梦山
2023-12-11 19:58:48
【对话产业链大佬】碳化硅长晶设备专家交流精华【东吴机械】
👉与感应法相比，电阻法长晶速度更快、良率更高、调整工艺更先进、售价也高。
目前电阻法主要客户包括东尼、弘元、通威（按订单数量顺序排列）等。
（1）生长速度：电阻法对于原料的加热更均匀，电阻炉7天能长2cm晶体，感应法要10-14天。
（2）售价：电阻炉成本更高，售价是感应炉的2-3倍，感应炉售价50-60万/台，电阻法约100-120万元/台。
（3）良率：电阻法热场调控手段更多，晶体应力生长更可控，晶体更不易碎。
👉年产量：一台电阻炉一年产出片子数量约600+片。
6寸片的最终产品厚度为350微米，但在实现350微米的厚度之前要经历一系列的切磨抛，在多线切割时要留有一定的切磨抛的余量，目前切出来的厚度在450到500微米之间，还需要再加上切割线的厚度，金刚线线径约250微米，所以总厚度约750微米，则一根20mm的晶棒，约切出26片。一台电阻炉7天长20mm晶体，一个月长4个晶棒，则一台电阻炉一年产出48根晶棒，对应48*26=1248片，再考虑50%的长晶良率，则一台电阻炉一年产出片子数量为624片。
👉切片机：（1）砂浆线：目前切片主要用砂浆线，虽然效率较低但线径较小且较稳定，切出的损耗较少，一周左右切一刀，目前线径主要为0.16毫米。（2）金刚线：线径约0.25毫米，约20h切一刀。（3）激光切割：激光切割视长晶过程中掺杂的均匀性（掺磷、氮）而定，如果平面电阻率稳定则切割效率、良率均高，但目前掺杂的均匀性不稳定，切一片要20+小时，激光剥离工艺符合未来切割的发展方向。
👉研磨/减薄机：与前道工艺路线相关，若采用金刚线切，则需双面研磨；若采用激光剥离，则砂轮单磨更适合。研磨时先粗磨、再精磨、再通过化学机械抛光，每个步骤速率不同，但本质上都是减薄。国外龙头主要是DISCO和日本秀和，国内龙头主要是特斯迪、赫瑞特、博宏源。
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