微导纳米：PE-Poly取得突破，Topcon扩产持续超预期，设备商充分受益

事件：微导纳米公告与通威签订4.5亿元销售合同，公司拟向彭山通威销售全自动ALD钝化设备与PE-Poly设备。

1、微导以ALD技术为核心，发展迅速。公司成立于2015年底，拥有国内ALD领域领先的团队；在半导体领域已通过龙头客户量产验证并取得重复订单；在光伏领域，公司在Topcon中氧化铝沉积的ALD设备拥有超70%份额，在SiO2隧穿层和多晶硅层沉积中同时有PEALD与PECVD两种方案，公司完成了Topcon中所有真空设备的开发。

2、中标PE-Poly具有突破意义。Topcon背面的SiO2隧穿层和多晶硅层（POLY）沉积，有多种技术路线：其中晶科、钧达采用LPCVD路线；通威、天合、晶澳、上机等其他大部分电池片厂采用PECVD路线（PE-POLY）；另外有尚德等少量电池厂采用PEALD方案。市场此前认为微导擅长ALD技术，主推PEALD设备，不擅长PECVD设备，而市场主要选择LP和PECVD路演，担心微导在TOPCON中的市场空间有限。此次通威招标，采用PEPOLY路线，微导中标包括正面氧化铝钝化的ALD，和背面的PE-POLY，实现了PE-POLY在大客户的重大突破，具有标杆意义，未来也将参与更多Topcon扩产项目竞争。

3、如何看待Topcon中的竞争格局？部分投资者担心Topcon设备格局恶化，但我们认为，随着Topcon扩产规模快速增长，陆续有更多设备供应商逐步进入并取得订单，是正常现象。此次通威招标中，我们预计捷佳伟创取得了总体价值量约50%份额，高于22年7月通威一期的中标份额；微导则取得了PEPOLY突破，拓宽了市场空间。我们预计23年Topcon招标量有望达到200GW，同比22年大幅增长，如此快速增长下，设备供应商将保持良性竞争，所有设备商都将受益。继续推荐Topcon产业链的设备公司：捷佳伟创、微导纳米