事件：公司发布] 2023年一季报，实现营收4.02亿元，同比增长274.24%；实现归母净利润0.54亿元，同比增长552.25%。

收入利润大幅增长，合同负债环比提升。2023Q1受益于国内半导体设备需求增长与国产替代的持续推进，公司收入利润同比大幅增长。2022年公司在手销售订单约46.02亿元，其中新签订单43.62亿元，较2021年同比增长95.36%。

此外，2023Q1公司合同负债达到16.33亿元，环比提升16.89%，公司新增订单充裕，合同负债持续提升，保障公司未来业绩高成长。盈利能力方面，一季度公司毛利率达到49.78%，同比提升2.34个百分点，净利率达到12.99%。费用率方面，2023一季度公司销售/管理/研发/财务费用率份别为13.67% / 8.26%/ 21.38% / -3.05%。

薄膜沉积市场空间广阔，公司PECVD技术实力领先。根据Maximize MarketResearch数据，2021年全球薄膜沉积设备市场达到约190亿美元，2025年市场规模有望达340亿美元，CAGR有望达到15.7%，我们预计在下游3DNAND、先进逻辑制程等工艺需求带动下，全球薄膜沉积设备市场将保持相对较高增速。

公司作为国内领先的PECVD设备厂商，产品已可适配国内先进的28/14nm逻辑芯片，19/17nm DRAM芯片和64/128层3DNANDFLASH产线，兼容SiO2、SiN、SiON、BPSG、PSG、TEOS、LokI、LokII等多种反应材料。PECVD在薄膜沉积设备中占比达33%，未来公司将伴随下游国产化率提升持续增长。

设备产品线持续丰富拓宽，覆盖国内主流客户。公司立足薄膜沉积设备领域，除PECVD外，持续拓展ALD、SACVD以及HDCVD等为主的系列产品，设备工艺可覆盖国内主要晶圆厂设备需求，主要客户包括中芯国际、华虹集团、长江存储、重庆万国等大陆企业。公司PE-ALD设备2022实现收入3258.67万元，Thermal-ALD已完成开发至客户端验证，SACVD持续拓展应用领域及工艺覆盖度，2022年该系列产品收入同比增长117.39%。

盈利预测与投资建议：公司作为国产薄膜沉积领域行业领先者，具备深厚的技术储备，业务成长性较强。基于以上考虑，我们公司给予2024年16倍PS，对应市值638.9亿元，对应目标价507.0元，首次覆盖给予“买入”评级。

风险提示：下游晶圆厂产能扩张不及预期导致需求衰退风险；新产品研发进度不及预期风险；地缘政治冲突加剧及国际关系恶化风险等。