一、主营业务

发行人专注于电子化学材料领域，主要从事电子湿化学品、电子特种气体和 前驱体材料的研发、生产和销售。其中，电子湿化学品包括电子级氢氟酸、电子 级硝酸、电子级硫酸、电子级盐酸、电子级氨水、缓冲氧化物刻蚀液、硅刻蚀液 等；电子特种气体包括高纯氯气、高纯氯化氢、高纯六氟化钨、高纯氟碳类气体 等；前驱体材料包括 HCDS、BDEAS、TDMAT 等。发行人的产品广泛应用于集 成电路、显示面板以及光伏等领域的清洗、刻蚀、成膜等制造工艺环节，是上述 产业发展不可或缺的关键性材料。

发行人是集成电路材料产业技术创新联盟副理事长单位，是国内少数同时生 产电子湿化学品、电子特种气体以及前驱体材料的企业之一，取得了―先进电子 化学材料浙江省工程研究中心‖、―第三届（2019 年）中国电子材料行业电子化 工材料专业十强企业‖、―首届集成电路材料奖—最佳成长奖‖、―第四届（2021 年）中国电子材料行业电子化工材料专业前十企业‖等多项企业资质及荣誉。发 行人产品依托核心技术，性能卓越，科技创新能力突出，具备强大的核心竞争力， 技术及产品荣获过中国化工学会科技进步奖一等奖、第十四届（2019 年度）中 国半导体创新产品和技术、―中国集成电路创新联盟第四届‗IC 创新奖‘—技术创 新奖‖、―第四届中国新型显示产业链发展贡献奖—创新突破奖‖、2021 年度浙江 省重点首批次新材料、集成电路材料创新联盟五星产品证书、―中芯国际—系列 产品（硫酸、氢氟酸、硝酸、氨水、氯气）批量供应五周年‖、―华虹宏力—国产 超纯电子湿化学品首家量产供应商系列产品合作八周年‖等多项殊荣。

发行人不断投入研发力量，持续构筑和强化产品技术壁垒，凭借在电子化学 材料领域丰富的技术积累，承担了一系列国家级、省级、市级重大科研项目。在 电子湿化学品方面，发行人承担了国家科技部―集成电路 12 英寸晶圆制造用超高 纯氢氟酸‖项目、浙江省科技厅―超纯氨水关键技术开发‖项目、衢州市科技局―集 成电路先进制程用电子级氢氟酸关键技术研发及产业化‖项目等；在电子特种气 体及前驱体材料方面，发行人承担了国家科技部―微纳电子制造用超高纯电子气体‖项目、国家科技部―腐蚀性电子气体品质提升及市场应用‖项目、浙江省科技 厅―集成电路制造用前驱体材料研发‖项目、衢州市科技局―集成电路先进制程用 关键蚀刻气体研发及产业化‖项目、衢州市科技局―电子级六氟化钨关键技术开发 及产业化‖项目等。

凭借优良的产品品质和丰富的产品组合，发行人的电子湿化学品已获得了 SK 海力士、台积电、德州仪器、中芯国际、长江存储、华虹集团、华润微电子、 厦门联芯等多家知名的半导体企业的认可；电子特种气体及前驱体材料也已陆续 进入如中芯国际、厦门联芯、士兰微、立昂微、上海晶盟、华润微电子、德州仪 器、京东方、华星光电等主流客户的试用与供应阶段。随着后续产品组合销售的 优势逐步凸显，公司的市场地位将进一步拓展与巩固。发行人目前以集成电路客 户为主，显示面板与光伏客户为辅，开拓的部分知名客户如下所示：

（二）主要产品情况

电子化学材料是集成电路产业不可或缺的重要支撑材料，是集成电路产业发 展所需的―水‖和―空气‖。

集成电路先进制程对电子化学材料中的电子湿化学品和电子特种气体的纯 度、金属杂质含量、颗粒数量和粒径、品质一致性要求严苛，例如电子湿化学品 金属杂质含量千亿分之一（10-11）级、电子特种气体金属杂质含量百亿分之一 （10-10）级的波动会对整条集成电路生产线的产品良率造成影响。当前我国集成 电路产业正处于快速发展的阶段，由于起步较晚、专利壁垒、人才短缺以及一些配套产业较为薄弱等历史原因，同时加之其更加偏向基础学科、投资周期长的行 业属性，我国可用于 8 英寸以上集成电路制造的电子湿化学品、电子特种气体和 前驱体材料仍严重依赖进口，制约了我国集成电路产业的健康发展。

为服务国家集成电路产业的重大战略需求，公司自设立以来专注于集成电路 制造用电子化学材料，力争成为国内规模最大、品类最全、品质最高的电子化学 材料提供商之一，为客户提供电子湿化学品、电子特种气体和前驱体材料等一站 式服务。

1、电子湿化学品

电子湿化学品工艺水平和产品质量直接对集成电路制造的成品率、电性能及 可靠性构成重要影响，进而影响到终端产品的性能。发行人的电子湿化学品主要 用于集成电路、显示面板、光伏等领域产品的清洗、刻蚀等工艺环节。

以下游集成电路应用为例，电子湿化学品伴随集成电路的整个制作过程，涉 及到多个制造工艺环节。

1975 年，SEMI（国际半导体设备和材料协会）制定了国际统一的 SEMI 标 准，可用于规范电子湿化学品的技术标准，具体品控要求如下：

如上表所示，集成电路工艺用电子湿化学品的纯度要求较高，基本集中在 G3 及以上水平，晶圆尺寸越大对纯度要求越高，12 英寸晶圆制造一般要求 G4水平。目前，国内只有包括公司在内的少数几家企业的产品品控能够达到 G4 级 及以上，公司的电子级氢氟酸、电子级硫酸、电子级硝酸均达到 G5 级，电子级 盐酸、电子级氨水、电子级氟化铵、缓冲氧化物刻蚀液达到 G4 级。

（1）电子级氢氟酸

发行人生产的电子级氢氟酸主要用于集成电路制造中氧化膜刻蚀及清洗、硅 片表面及太阳能电池片清洗、显示面板玻璃减薄及作为刻蚀液的生产原料。氧化 膜、玻璃及氧化后的硅片主要成分为二氧化硅，而电子级氢氟酸是少数能与二氧 化硅发生化学反应的酸类电子湿化学品，故面板生产商在玻璃减薄工艺，及集成 电路生产商、太阳能电池生产商在硅片表面及太阳能电池片清洗环节均需使用电 子级氢氟酸与二氧化硅进行反应。

目前，在 55nm 及以下制程 12 英寸晶圆制造中一般使用 G5 级的电子级氢氟 酸。发行人成熟量产的电子级氢氟酸已达到 G5 级。该产品荣获过集成电路材料 创新联盟五星产品证书，2021 年度浙江省重点首批次新材料，并取得 SK 海力士 出具的―批量供应 12 英寸 1Xnm（10-20nm）制程、指标达到国际同类产品先进 水平、关键材料之超高纯化学品本土化供应‖的产品应用认证。

（2）电子级硫酸、电子级硝酸、电子级盐酸

发行人生产的电子级硫酸、电子级硝酸、电子级盐酸主要用于集成电路制造 中的清洗环节，用于清洗各类金属、有机物和颗粒物。该等产品也可作为酸性刻 蚀液的原料，根据下游客户的定制需求进行混配，用于集成电路制造中的刻蚀环 节。

①电子级硫酸是目前集成电路制造中用量最大的酸性清洗、刻蚀液原料，发 行人成熟量产的电子级硫酸已达到 G5 级，能够用于 28nm 及以下制程 12 英寸晶 圆制造。该产品荣获过集成电路材料创新联盟五星产品证书。发行人是中芯北方 集成电路制造（北京）有限公司首家国产硫酸量产供应商。

②发行人成熟量产的电子级硝酸已达到 G5 级，能够用于 14nm 制程 12 英寸 晶圆制造。该产品荣获过集成电路材料创新联盟五星产品证书。

③发行人成熟量产的电子级盐酸已达到 G4 级，能够用于 12 英寸晶圆制造。

（3）电子级氟化铵

发行人生产的电子级氟化铵主要是作为缓冲氧化物刻蚀液原料，其可以使缓 冲氧化物刻蚀液与光刻胶更兼容、刻蚀速率更稳定。目前，发行人量产的电子级 氟化铵已达到 G4 级。

（4）电子级氨水

发行人生产的电子级氨水作为碱性清洗剂主要用于去除半导体材料表面的 颗粒物，并可以作为电子级氟化铵的主要生产原料。目前，发行人成熟量产的电 子级氨水已达到 G4 级。

（5）缓冲氧化物刻蚀液

缓冲氧化物刻蚀液（Buffer Oxide Etch）是电子级氢氟酸、电子级氟化铵与 超纯水的混合，根据工艺需要还可以添加表面活性剂，主要用于集成电路中氧化 膜的刻蚀。该产品中基础的刻蚀剂是电子级氢氟酸，另添加电子级氟化铵可以使 产品与光刻胶更兼容、刻蚀速率更稳定。此外，添加表面活性剂可以减少产品表 面张力，增强产品润湿性，保证刻蚀均匀性。

在集成电路制造领域，8 英寸及 12 英寸工艺一般需要 G4 级缓冲氧化物刻蚀 液，发行人已实现 G4 级缓冲氧化物刻蚀液的量产。

（6）硅刻蚀液

硅刻蚀液为酸性刻蚀液的一种，用于多晶硅的刻蚀，发行人提供的硅刻蚀液 主要为电子级氢氟酸、电子级硝酸混合液，针对客户的制程要求进行定制化生产。

2、电子特种气体

电子特种气体是集成电路、显示面板等电子工业生产不可或缺的原材料，它 广泛应用于刻蚀、清洗、掺杂、气相沉积等工艺环节，决定了器件的最终良率和 可靠性，具有较高的产品附加值。另外，电子特种气体在其生产过程中涉及原料 合成、纯化、充装、分析检测、气瓶处理、混合气配制等多项工艺技术，具有较 高的技术壁垒。

以下游集成电路应用为例，电子特种气体在集成电路制造中应用广泛，涉及 到多个制造工艺环节。

纯度是电子特种气体核心指标，纯度常用的表示方法主要有两种，分别是： （1）用百分数表示：如 99.9%，99.999%，99.9995%等；（2）用―N‖表示：如 3N，5N，5N5 等。集成电路制造对不同气体的纯度要求不一，通常情况需要纯 度 5N 及以上的电子特种气体。

发行人生产的高纯氯气、高纯氯化氢、高纯氟化氢、高纯六氟化钨、高纯氟 碳类气体等是集成电路、显示面板、光纤等领域清洗、刻蚀、成膜、光纤脱水等 工艺环节的关键材料。发行人目前可以实现 6N 纯度高纯氯气、6N 纯度高纯氯 化氢、4N5 纯度六氟丁二烯、5N 纯度三氟甲烷、5N 纯度八氟环丁烷、4N 纯度八 氟环戊烯、5N5 纯度高纯六氟化钨以及 5N 纯度高纯氟化氢的量产。

（1）高纯氯气

发行人生产的高纯氯气主要用于显示面板和集成电路制造领域的刻蚀工艺 及光纤制造领域的脱水工艺，该产品是博瑞电子承担的科技部―微纳电子制造用 超高纯电子气体‖科研项目的课题之一。

在显示面板和集成电路制造领域的刻蚀工艺中，普遍利用氯气跟铝反应生成 气态氯化铝，以及氯气与硅反应生成氯化硅化合物的化学原理来实现刻蚀。目前， 显示面板行业一般需要 5N 纯度的高纯氯气；在 28nm 以上制程的 12 英寸晶圆制 造中一般需要 5N 纯度的高纯氯气，28nm 及以下制程一般需要使用 5N5 及以上 纯度的高纯氯气。发行人目前可以实现 6N 纯度高纯氯气的量产。凭借优异产品品质，发行人的高纯氯气取得―重庆惠科—最佳供应商‖荣誉。

发行人生产的高纯氯气也是光纤制造领域脱水工艺的主要材料。在光纤生产 的溶液掺杂工艺中，芯层在溶液掺杂过程结束后会残留大量水分，需运用高纯氯 气进行脱水处理，脱水是否彻底直接影响光纤本底损耗，进而影响光纤的输出功 率。控制本底损耗是提高光纤激光器性能的关键技术。实际生产中，光纤生产厂 商一般需要使用 5N 及以上纯度的高纯氯气来实现光纤脱水。

（2）高纯氯化氢

发行人生产的高纯氯化氢主要用于硅及锗硅外延工艺，既可用作外延反应腔 体的清洗气体，也可用作外延工艺刻蚀气体。该产品是博瑞电子承担的科技部―微 纳电子制造用超高纯电子气体‖、―腐蚀性电子气体品质提升及市场应用‖科研项 目的课题之一。

基于氯化氢气相腐蚀原理，氯化氢与硅、锗硅在高温下会产生化学反应，故 其可用于硅及锗硅外延的刻蚀。在外延反应时，外延反应腔体的内表面同样会沉 积少量硅或锗硅外延层，需要定期用氯化氢清洗。在实际应用中，用作外延反应 腔体清洗气体时一般需要达到 5N 纯度，用作外延工艺反应气体时则要求达到 5N5 纯度。目前，发行人已实现 6N 纯度高纯氯化氢的量产。凭借优异产品品质， 发行人的高纯氯化氢取得―第四届中国新型显示产业链发展贡献奖—创新突破 奖‖、―上海晶盟—国产化替代杰出供货商‖、―上海新傲—特别贡献奖‖等多项殊 荣。

（3）高纯氟化氢

超低含水量的高纯氟化氢因其反应选择性，可用于集成电路制造中二氧化硅 的刻蚀和炉管清洗。在集成电路制造中一般使用 4N 及以上高纯氟化氢。发行人 目前可以实现 5N 纯度高纯氟化氢的量产。该产品是博瑞电子承担的科技部―微 纳电子制造用超高纯电子气体‖、―腐蚀性电子气体品质提升及市场应用‖科研项 目的课题之一。

（4）高纯氟碳类气体

发行人生产的高纯氟碳类气体主要包括三氟甲烷、八氟环丁烷、八氟环戊烯、 六氟丁二烯，该等产品主要用于集成电路制造中的等离子刻蚀环节。在集成电路制造的干法刻蚀工艺中，需利用氟碳类气体等在电场加速作用下形成等离子体， 与硅基材料反应在材料表面进行选择性刻蚀。随着集成电路制程线宽变窄，堆叠 层数增加，决定了其刻蚀过程必须采用高刻蚀率、高精确性的氟碳类气体。目前， 发行人已经实现 4N5 纯度六氟丁二烯、5N 纯度三氟甲烷、5N 纯度八氟环丁烷、 4N 纯度八氟环戊烯的量产。

（5）高纯六氟化钨

发行人生产的高纯六氟化钨主要用于沉积钨导电层，因为金属钨具有填孔性 好、热稳定性好、导热性强、电阻率低等特点，所以被广泛用于制造集成电路内 的通孔和接触孔。目前，发行人已经实现 5N5 纯度高纯六氟化钨的量产。

3、前驱体材料

前驱体材料是携带有目标元素，呈气态、易挥发液态或固态，具备化学热稳 定性，同时具备相应的反应活性或物理性能的一类物质，是薄膜沉积工艺的核心 制造材料，应用于半导体生产制造工艺。薄膜沉积技术是集成电路制造过程中关 键技术，而沉积不同材料的薄膜能够精确控制集成电路内部构造的成型，以实现 不同的电气特性。薄膜沉积工艺主要分为物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积 （CVD）和原子层沉积（ALD）等薄膜制备工艺。

公司生产的前驱体材料主要用于 CVD 和 ALD。CVD 是指利用气态物质通 过化学反应在基底表面形成固态薄膜的一种成膜技术；ALD 是指将气相前驱体 材料脉冲交替地通入反应器，并在沉积基体上吸附、反应而形成薄膜的一种技术。 CVD 和 ALD 两项技术均是目前应用广泛的薄膜沉积技术，两项技术相比，CVD 的沉积速率更快，而 ALD 在复杂表面进行沉积的薄膜均匀性和界面质量更好。 CVD、ALD 的简要工艺流程如下图所示：

公司目前已掌握 HCDS、BDEAS、TDMAT 等前驱体材料的生产制备技术， 产品主要用于沉积半导体导线间的介电层，以及在半导体栅极中复合金属材料。 集成电路制造中先进制程（28nm 及以下）会采用到原子层沉积技术，一般需要 前驱体材料纯度达到 6N 以上。目前，发行人已经实现纯度为 6-7N 的 HCDS、 BDEAS、TDMAT 生产，其中 HCDS 已量产销售，BDEAS、TDMAT 已进入客户 端认证环节。

（三）主营业务收入构成

报告期内，公司主营业务收入的产品分类如下：

报告期内，公司的产品主要为电子湿化学品和电子特种气体，受到各产品线 投入和建设时间不同的影响，公司收入呈现电子湿化学品为主、电子特种气体收 入逐年上升的趋势。

二、发行人所处行业基本情况及其竞争状况

（一）公司所属行业及确定所属行业的依据

公司主要从事电子湿化学品、电子特种气体、前驱体材料的研发、生产和销 售业务，产品主要应用于集成电路、显示面板以及光伏领域的制造环节。公司属 于电子信息与化工行业交叉领域，产品用途上属于电子化学材料行业。

根据中国证监会《上市公司行业分类指引》（2012 年修订），公司所处行 业为―C39 计算机、通信和其他电子设备制造业‖根据国家统计局《战略性新兴产 业分类（2018）》，公司产品属于―1 新一代信息技术产业——1.2 电子核心产业 ——1.2.3 高储能和关键电子材料制造（C3985 电子专用材料制造）‖；根据国家 发改委《战略性新兴产业重点产品和服务指导目录（2016 版）》，公司产品属 于“1 新一代信息技术产业——1.3 电子核心产业——1.3.1 集成电路——集成电 路材料”。

从公司产品主要应用领域、主要客户群体、获得的重要行业、技术及产品荣 誉、承担的国家科技重大专项等方面来看，公司属于科创板重点推荐的―新一代 信息技术‖领域。

三、行业情况

1、发行人所处行业的市场概述

发行人主要从事电子湿化学品、电子特种气体及前驱体材料等电子化学材料 的研发、生产和销售，产品位于电子信息产业偏中上游的材料领域，下游主要应 用领域包括集成电路、显示面板及光伏等，终端应用场景主要是电子信息产业。 电子化学材料行业是精细化工和电子信息行业交叉的领域，其行业特色充分融入 了两大行业的特点，具有品种多、质量要求高、对环境洁净度要求苛刻、产品更 新换代快、产品附加值高、资金投入量大等特点。

（1）电子湿化学品市场概述

①市场规模

受益于半导体、显示面板、光伏等下游市场的发展，电子湿化学品行业发展 迅速。根据中国电子材料行业协会数据，2018 年，全球电子湿化学品整体市场 规模约 52.65 亿美元，三大市场应用量为 307 万吨，其中，半导体市场应用量约 132 万吨，显示面板市场应用量约 101 万吨，光伏领域应用量达到 74 万吨。到 2020 年，全球电子湿化学品整体市场规模将达到 58.50 亿美元，总应用量达到 388 万吨，复合增长率约 12.42%。

伴随着半导体国产化进程加速、显示面板产能向中国大陆地区转移以及光伏 市场景气度处在持续上升通道的影响，近年我国电子湿化学品市场规模也快速增 长，增速超过全球平均水平。据中国电子材料行业协会数据显示，2018 年，我 国电子湿化学品需求量约 90.51 万吨，到 2020 年，我国电子湿化学品需求量将 达到 147.04 万吨，复合增长率达到 27.46%。

                               2016 年-2020 年我国三大应用市场对电子湿化学品需求量

国内市场规模逐步扩大。根据智研咨询预测，未来我国电子湿化学品市场规 模由 2021 年 117.46 亿元逐步扩大至 2027 年 210.38 亿元，年复合增长率 10.20%。

未来电子湿化学品的需求增长主要来自半导体和显示面板行业，半导体行业 晶圆厂新增产能不断落地叠加晶圆尺寸扩大到 12 英寸，显示面板行业向高世代 线产品不断升级，均对电子湿化学品提出了更高的技术要求，同时也增加了对电 子湿化学品的耗用量。根据中国产业信息网的数据，12 英寸晶圆制造所消耗的 电子湿化学品是 8 英寸晶圆制造的 4.6 倍，6 英寸晶圆制造的 7.9 倍。半导体和 显示面板行业产能的扩张及技术升级将拉动电子湿化学品用量的快速增长。

②市场集中度情况、主要供应商及国产化率

电子湿化学品行业技术门槛较高，其发展与半导体制造业的发展保持同一步 调，欧美和日本企业凭借技术优势，占据了全球市场主导地位。在中国大陆市场， 2019 年，以德国巴斯夫、德国默克、美国霍尼韦尔、美国英特格等为代表的欧 美企业占据了中国大陆市场的 35%；同时，以住友化学、三菱化学、关东化学、 Stella 等为代表的日企占据中国大陆市场的 28%。韩国、中国台湾、中国大陆企 业分别占 16%、10%、9%。中国大陆电子湿化学品总体市场集中度不高，细分 产品领域具有一定的市场集中度。

国内从事电子湿化学品业务的企业主要包括发行人、湖北兴福、晶瑞电材、 格林达、江化微、江阴润玛、上海新阳、飞凯材料、新宙邦等。

目前，国内电子湿化学品产业整体呈现出结构性的发展不均衡，高端产品仍存在不足，国产化率低。根据中国电子化学材料行业协会数据，尽管国内电子湿 化学品近年来取得了长足进步，但高速发展的同时，国产化方面也存在着部分瓶 颈，具体情况如下：（1）集成电路领域，2020 年集成电路工艺用电子湿化学品 整体国产化率 23%，8 英寸及以上晶圆制造用电子湿化学品国产化率不足 20%， 国内企业产品供应主要集中在 6 英寸及以下晶圆制造及封装领域；（2）显示面 板领域，包括各个世代的液晶面板及 OLED 用电子湿化学品整体国产化率为 40%， 其中 OLED 面板及大尺寸液晶面板所需的电子湿化学品部分品种目前仍被韩国、 日本和中国台湾地区等少数电子湿化学品厂商垄断；（3）光伏太阳能电池领域， 国内企业已基本实现电子湿化学品自主供应。

近年来，我国电子湿化学品企业技术不断提升，在产品技术研发、生产制造、 检测手段、应用技术研究等方面都开始攀升到一个新台阶，行业整体进入快速发 展阶段，少数领先企业在细分产品领域实现了单点突破和国产替代，例如发行人 的电子级氢氟酸、电子级硫酸、电子级硝酸，湖北兴福的电子级磷酸、电子级硫 酸、硅刻蚀液、铝刻蚀液，晶瑞电材的电子级双氧水，上海新阳的电子级硫酸、 铜电镀液、铜刻蚀后清洗液和铝刻蚀后清洗液等产品，已经在 8 英寸、12 英寸 集成电路生产线批量应用。

（2）电子特种气体市场概述

①市场规模

根据电子材料市场研究机构 Techcet 数据，2020 年全球电子特种气体市场规 模为 41.9 亿美元，预计在 2025 年将超过 60 亿美元，年复合增速 7.5%左右。未 来 3-5 年，先进逻辑芯片、高端存储芯片、显示面板是电子特种气体市场增长的 主要驱动力。

随着全球半导体产业链持续向中国大陆转移，我国电子特种气体市场增长速 度远高于全球增速。2020 年，我国电子特种气体市场规模达到 173.6 亿元， 2013-2020 年复合增长率为 15%。在具体的下游应用中，集成电路及器件占比 44.2%、显示面板占比 34.7%、太阳能及 LED 等占比 21.1%。

参考国内及全球下游行业增速，据 SEMI 及江苏省半导体行业协会测算，至 2023 年，我国电子特种气体市场总规模将达到 238 亿元，市场总规模较大，增 长迅速。其中集成电路及器件占比 42.02%；显示面板占比 33.61%；太阳能及 LED 等占比 24.37%。

②市场集中度情况、主要供应商及国产化率

全球电子特种气体市场集中度很高，美国空气化工、爱尔兰林德集团、法国 液化空气和日本太阳日酸四大国际领先企业的全球市场份额为 91%，在中国大陆 市场，上述四大国际领先企业占据了 88%的市场份额，总体市场集中度高，国产 化率仍较低。

国内电子特种气体起步于 20 世纪 80 年代，在半导体制造业发展的带动下， 经过多年的技术发展和生产经验沉淀，发行人、派瑞特气、南大光电、华特气体、 金宏气体、雅克科技等企业在部分电子特种气体产品的关键技术上取得了突破性 进展，部分产品可以达到国际通行标准。

根据中国半导体支撑业发展状况报告（2021 年编）数据，通过不断的经验 积累和技术进步，国内企业已经初步具备批量生产集成电路制造用主要电子气体 的能力。例如：离子注入气体方面，安全源砷化氢（AsH3）、磷化氢（PH3）、 三氟化硼-11（11BF3）已经大批量供货。成膜气体方面，六氟化钨（WF6）、氨 气（NH3）、一氧化氮（NO）和乙硼烷（B2H6） 混合气等气体品种已批量应 用于 8 英寸、12 英寸集成电路生产线；刻蚀/清洗气体方面，多家公司的三氟化 氮（NF3）、四氟化碳（CF4）、六氟乙烷（C2F6）、八氟丙烷（C3F8）、全氟 丁二烯（C4F6）、八氟环丁烷（C4F8）、三氟甲烷（CHF3）、氟甲烷（CH3F）、 六氟化硫（SF6）、一氧化碳（CO）、氯化氢（HCl）、氯气（Cl2）、三氯化硼 （BCl3）已能够稳定批量供应。但与境外领先气体集团相比，大部分境内气体公 司的供应产品较为单一，产品级别不高，尤其在集成电路、显示面板等高端应用 领域仍主要依赖国外进口。

（3）前驱体材料市场概述

①市场规模

前驱体材料当前主要应用于集成电路制造中的薄膜沉积工艺环节。随着全球 逻辑、存储芯片产业技术的发展，叠层薄膜沉积技术将会得到广泛应用，前驱体 材料总体市场规模将保持快速增长。根据富士经济数据，全球前驱体市场规模从 2014 年约 7.50 亿美元增至 2019 年的约 12.00 亿美元，2014-2019 年复合增长率 达 9.86%，并预计 2024 年可达 20.21 亿美元，2020-2024 年复合增长率达 5.3%。 未来，随着集成电路先进制程占比上升，在薄膜沉积工艺中起关键作用的前驱体 材料需求将得到进一步扩张。

中国市场是全球半导体前驱体的主要市场之一。根据 QYResearch 数据，2021 年中国半导体前驱体市场规模达到 5.9 亿美元，预计 2028 年将达到 11.56 亿美元， 年复合增长率预计为 10%。

②市场集中度情况、主要供应商及国产化率

前驱体行业较电子湿化学品、电子特种气体准入门槛更高，国外企业深耕该 领域已久，市场集中度较高，目前生产商基本为海外企业，如德国默克，法国液 化空气，美国英特格，日本 Tri Chemical，韩国 Soul-Brain、DNF、Hansol Chemical 等，国内在前驱体产品开发方面取得了初步进展，例如南大光电完成及正在开发 多个前驱体产品；雅克科技通过收购韩国 UP Chemical 进入前驱体业务领域，多 款产品已在国际知名存储器制造公司中得到应用；发行人的 HCDS 已量产销售， BDEAS、TDMAT 等产品已成功送样至华虹集团等下游用户。但是，从集成电路技术发展对前驱体材料的需求来看，目前我国前驱体的产品成熟度仍然很低，与 国际先进水平的差距很大，国产化率极低。

四、竞争对手

1、发行人产品或服务的市场地位

发行人是国内电子化学材料的主要企业之一，是国内少数同时生产电子湿化 学品、电子特种气体以及前驱体材料的企业之一，先后取得了―先进电子化学材 料浙江省工程研究中心‖、―第三届（2019 年）中国电子材料行业电子化工材料 专业十强企业‖、―首届集成电路材料奖—最佳成长奖‖、―第四届（2021 年）中国 电子材料行业电子化工材料专业前十企业‖等多项企业资质及荣誉。

发行人产品依托核心技术，性能卓越，科技创新能力突出，具备强大的核心 竞争力，技术及产品先后荣获了中国化工学会科技进步奖一等奖、第十四届（2019 年度）中国半导体创新产品和技术、―中国集成电路创新联盟第四届‗IC 创新奖‘— 技术创新奖‖、―第四届中国新型显示产业链发展贡献奖—创新突破奖‖、2021 年 度浙江省重点首批次新材料、集成电路材料创新联盟五星产品证书、―中芯国际—系列产品（硫酸、氢氟酸、硝酸、氨水、氯气）批量供应五周年‖、―华虹宏力 —国产超纯电子湿化学品首家量产供应商系列产品合作八周年‖等多项殊荣。

（1）电子湿化学品方面

凭借丰富的产品组合和优良的产品品质，发行人已成为国内规模化生产电子 湿化学品的主要企业之一，是国内少数能够稳定批量供应 12 英寸 1Xnm（10-20nm） 制程的集成电路制造用电子级氢氟酸，是国内少数能够为逻辑电路、存储器制造 稳定批量供应电子级硝酸，是国内少数能够为 12 英寸 28nm 制程稳定批量供应 电子级硫酸的企业。发行人的电子级氢氟酸、电子级硫酸、电子级硝酸等主要产 品均已达到 12 英寸集成电路制造用级别，产品等级均达到 G5 级，均为中国集 成电路材料创新联盟五星产品，产品质量达到国内同类先进水平，并在 SK 海力 士、中芯国际、长江存储、华虹集团、华润微电子、绍兴中芯等多家主流客户批 量供货。发行人的电子级氢氟酸被浙江省经济和信息化厅认定达到―技术水平国 际先进且打破国际垄断‖，电子级硫酸、电子级硝酸、电子级氨水和缓释氧化物 刻蚀液等四个产品均被浙江省经济和信息化厅认定达到―技术水平国内领先，打 破国际垄断，实现重点领域降准替代且在知名用户应用‖。

2019 年、2020 年，公司电子湿化学品市场占有率情况如下：

根据集成电路材料产业技术创新联盟（ICMtia）的数据，2021 年我国集成 电路制造工艺用的电子湿化学品整体市场需求量达到 51 万吨，其中 2021 年集成 电路制造工艺用的电子级氢氟酸、硫酸、硝酸、盐酸、硅刻蚀液、缓释氧化物刻 蚀液等产品国内市场需求量，及发行人 2021 年集成电路制造工艺用的电子湿化 学品的国内销量如下：

发行人集成电路工艺用电子湿化学品主要供应集成电路 8 英寸及以上。根据 公开数据及测算，中国大陆2020年集成电路8英寸及以上的国产化率不足20%， 发行人同年集成电路工艺用电子湿化学品国内市场占有率为 3.68%；发行人 2021 年集成电路工艺用电子湿化学品占国内市场占有率为 5.97%，其中主要产品电子 级氢氟酸、电子级硫酸和电子级硝酸占国内市场份额分别为 19.78%、4.41%和 66.39%。

（2）电子特种气体及前驱体材料方面

在电子特种气体方面，发行人承担了多项国家科技部重点研发项目，目前已 实现 6N 纯度高纯氯气、6N 纯度高纯氯化氢、4N5 纯度六氟丁二烯、5N 纯度三 氟甲烷、5N 纯度八氟环丁烷、4N 纯度八氟环戊烯和 5N5 纯度高纯六氟化钨量产， 产品技术处于国内同类产品的领先水平，产品已在中芯国际、华润微电子、士兰 微、厦门联芯、沪硅产业、河北普兴等多家主流客户通过认证并批量供货。发行 人高纯氯气、高纯氯化氢被浙江省经济和信息化厅认定达到―技术水平国内领先， 打破国际垄断，实现重点领域降准替代且在知名用户应用‖。

在前驱体材料方面，发行人的 HCDS 已量产销售，BDEAS、TDMAT 等产 品已成功送样至华虹半导体（无锡）有限公司等企业，是国内少数能够进入该领 域并完成产品生产的企业之一。

（五）发行人与同行业可比公司的比较情况

欧美日等头部企业目前占据电子湿化学品、电子特种气体的主要市场份额， 韩国、中国台湾地区的企业凭借生产技术优势也具备一定竞争力。这些国外或中 国台湾地区的企业均拥有多年的发展历史，在企业规模、业务种类、产品覆盖面 等与包括发行人在内的国内公司差距较大，具体情况请参见本节―二、发行人所 处行业基本情况及其竞争状况‖之―（三）报告期内发行人所处行业的发展情况和 未来发展趋势，发行人取得的科技成果与产业深度融合的具体情况‖之―1、发行 人所处行业的市场概述‖。另外这些企业与公司适用不同的企业会计准则，因此 公司在电子湿化学品方面选择国内 A 股上市公司江化微、晶瑞电材、格林达、 上海新阳、飞凯材料、新宙邦以及非上市公司湖北兴福、江阴润玛作为可比公司 进行比较，在电子特种气体方面选择国内公司 A 股上市公司南大光电、华特气 体、金宏气体、雅克科技、派瑞特气以及非上市公司中的黎明化工研究院、绿菱 气体、太和气体作为可比公司。

1、电子湿化学品领域

发行人与可比公司在市场地位、主要客户群体、主要产品及等级、技术实力、 电子湿化学品方面的营业收入及增长率对比情况如下表：

（1）在市场地位方面，发行人进入电子湿化学品领域的时间比较长，凭借 十多年的研发技术、产品品质的积累突破，已成长为国产优秀电子湿化学品的企 业代表。在主要客户群体方面，发行人与可比公司均不同程度地获得了下游集成 电路、显示面板、光伏等行业中优质客户的认证，并成为其相应产品的主流供应 商。

（2）在主要产品结构、产品等级方面，发行人电子湿化学品的主要产品结 构、产品等级与可比公司存在一定程度的差异。发行人各个细分产品规格基本处 于国内同类产品的领先水平，具体情况如下：

（3）在电子湿化学品方面的营业收入及增长率方面，报告期内，发行人的 电子湿化学品的营业收入为 33,721.77 万元、44,710.78 万元和 59,725.70 万元， 与同行业可比公司营业收入增长趋势基本一致。

综上所述，发行人在电子湿化学品方面的市场地位、客户群体、产品品类及 等级、技术实力、营收规模及增长率处于国内同行业的第一梯队。

2、电子特种气体领域

发行人与可比公司在市场地位、主要客户群体、主要产品及等级、技术实力、电子特种气体方面的营业收入及增长率对比情况如下表：

（1）在市场地位方面，发行人开展电子特种气体业务的时间较短，凭借不 断投入研发力量，目前成熟量产的 6N 纯度的高纯氯气、6N 纯度的高纯氯化氢 等产品已规模化供应给 8 英寸至 12 英寸的集成电路厂商及 8.5 代线至 10.5 代线 的显示面板厂商。另外，为应对集成电路产业的快速发展，公司积极进行高纯氟 碳类气体的布局，目前产品已量产。

（2）在主要产品结构、产品等级方面，发行人电子特种气体的主要产品结 构、产品等级与可比公司存在一定程度的差异。除了派瑞特气高纯六氟化钨、华 特气体高纯三氟甲烷的产品等级处于领先外，发行人的其他高纯气体处于国内同 类产品的领先水平，具体情况如下：

在电子特种气体方面的营业收入及增长率方面，报告期内，发行人的电子特 种气体的营业收入为 2,940.13 万元、9,038.44 万元和 13,654.13 万元。与同行业 公司相比，公司受到各产品线投入和建设时间不同的影响，综合收入规模较低， 但增速较快。

综上所述，与可比公司相比，公司电子特种气体业务的市场地位、客户群体 有待进一步提升，但已量产或送样细分产品的技术等级基本处于国内前列。

五、发行人报告期的主要财务数据及财务指标

                                    2023年二季度                                                                   2022年度

营业总收入(元)                  4.14亿                                                                            7.99亿  

净利润(元)                       1901.64万                                                                        1052.33万

扣非净利润(元)                  17.69万                                                                           -732.24万

发行股数 不超过过36,931.90 万股，超额配售选择权:

发行后总股本不超过过于147,727.6 万股

行业市盈率:34.3倍(2023.8.19数据)

同行业可比公司静态市盈率估值(不扣非):53.12(江化微)、59.79(晶瑞电材)、31.39(格林达)、199.09(上海新阳)、19.95(飞凯材料)、20.80(新宙邦)、83.91(南大光电)、34.82(华特气体)、53.93(金宏气体)、56.32(雅克科技)、51.19(中船特气)去除极值46.52

同行业可比公司静态市盈率估值(不扣非):52.40(江化微)、136.20(晶瑞电材)、45.99(格林达)、46.98(上海新阳)、29.95(飞凯材料)、37.23(新宙邦)、52.25(南大光电)、48.18(华特气体)、38.16(金宏气体)、42.69(雅克科技)、57.50(中船特气)去除极值45.13

公司EPS静态不扣非:0.0071

公司EPS静态扣非:-

公司EPS动态不扣非:0.0257

公司EPS动态扣非:-

公司EPSTTM不扣非:0.0116

公司EPSTTM扣非:-

拟募集资金150,000.00万元,募集资金需要发行价17.87元,实际募集资金:19.13亿元.

募集资金用途: 1中巨芯潜江年产 19.6 万 吨超纯电子化学品项目2补充流动资金

8月发行新股数量19支。7月发行新股数量32支。

电子 -- 电子化学品Ⅱ -- 电子化学品Ⅲ 

所属地域：浙江省    

主营业务：电子湿化学品，电子特种气体和前驱体材料的研发，生产和销售    

产品名称：电子级氢氟酸  、电子级硫酸 、电子级硝酸 、电子级盐酸 、电子级氟化铵 、电子级氨水 、缓冲氧化物刻蚀液 、硅刻蚀液 、高纯氯气 、高纯氯化氢  、高纯氟化氢  、高纯氟碳类气体（主要包括三氟甲烷 、八氟环丁烷 、八氟环戊烯 、六氟丁二烯等） 、高纯六氟化钨  、HCDS  、BDEAS 、TDMAT    

 实际控制人：-

 你是否有战略配售:本次发行最终战略配售数量为 8,754.8256 万股，占本次 初始发行数量的 23.71%。

股是否有保荐公司跟投:本次获配股数 1,158.3011 万股。 

关键字:1、电子湿化学品2、电子特种气体3、前驱体材料

1、电子湿化学品（1）电子级氢氟酸（2）电子级硫酸、电子级硝酸、电子级盐酸（3）电子级氟化铵（4）电子级氨水（5）缓冲氧化物刻蚀液（6）硅刻蚀液

2、电子特种气体（1）高纯氯气（2）高纯氯化氢（3）高纯氟化氢（4）高纯氟碳类气体（5）高纯六氟化钨

3、前驱体材料

电子一级细分行业:元件、消费电子、其他电子Ⅱ、光学光电子、电子化学品Ⅱ、半导体。

电子化学品Ⅱ二级行业细分:印制电路板、被动元件。

电子化学品Ⅲ三级行业:显示材料、树脂、热打印、散热模组、化学助剂、工业气体、电子化学品、电子材料、半导体材料、表面工程化学品行业。

电子化学品Ⅲ三级行业细分:国瓷材料、南大光电、鼎龙股份、安集科技、万润股份、晶瑞电材、上海新阳、华特气体、飞凯材料、濮阳惠成、江化微、光华科技、金宏气体、方邦股份、容大感光、莱特光电、瑞联新材、格林达、强力新材、宏昌电子、三孚新科、中石科技、西陇科学、乐凯新材、广信材料、德邦科技、唯特偶、中船特气、天承科技、康鹏科技、广钢气体、中巨芯。

电子化学品四级行业:国瓷材料、鼎龙股份、万润股份、诚志股份、飞凯材料、容大感光、光华科技、帝科股份、新纶新材、广信材料、天承科技、中巨芯。 

(科创板)

行业市盈率:34.3倍(2023.8.19数据)

行业市盈率预估发行价:0.88元，可比公司预估市盈率发行价静态:1.19元，可比公司预估市盈率发行价动态:1.16元。

实际发行价:5.18​元,发行流通市值:19.13亿,发行总市值:76.52亿

价格区间1.16元,最高1.48元,最低0.77元.是否有炒作价值:无

动态行业市盈率预估发行价:0.88元。

上市首日市盈率: 201.56(动)、 446.55(TTM)倍.行业市盈率是否高估:  可比公司市盈率是否高估:

公司EPS动态不扣非:0.0257公司EPSTTM不扣非:0.0116

预计三季报业绩：净利润2455万元至3568万元，变动幅度为-18.72%至18.10%EPS0.0322pe160.87

同行业可比公司静态市盈率估值(不扣非):52.40(江化微)、136.20(晶瑞电材)、45.99(格林达)、46.98(上海新阳)、29.95(飞凯材料)、37.23(新宙邦)、52.25(南大光电)、48.18(华特气体)、38.16(金宏气体)、42.69(雅克科技)、57.50(中船特气)去除极值45.13

是否建议申购:5块钱的科创板，老师们不顶个15块钱 感觉，都不可能了。估值就不用看了。这种东西，估成 这样，也就咱们的内资能做的出来，干得漂亮。最主要的股价 还弄个我要发。。嗯。嗯嗯。

上市首日开盘价:溢价%，市盈率。是否破发:

行业:电子湿化学品行业、电子特种气体行业、前驱体材料行业。

发行公告可比公司:中巨芯、江化微、晶瑞电材、格林达、上海新阳、飞凯材料、新宙邦、南大光电、华特气体、金宏气体、雅克科技、中船特气。

湿电子化学品领域竞争对手:1中巨芯2 江化微3 晶瑞电材4 格林达5 上海新阳6 飞凯材料7 新宙邦8 湖北兴福9 江阴润玛

电子特种气体领域竞争对手:1中巨芯2 南大光电3 华特气体4 金宏气体5 雅克科技6 中船特气7 黎明化工研究院8 绿菱气体9 太和气体

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风险揭示:股市有风险,投资需谨慎.请您务必对此有清醒的认识,认真考虑是否进行证券交易.投资建议内容仅供参考,不构成直接买卖建议,投资者须对其投资行为进行独立判断。