估计国内唯一供货荷兰光刻机阿斯麦（ASML）紫外激光器的上市公司

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 2.网上资料：

据有关人士透露，上海微电子公司的28纳米精密光刻设备已获得了技术鉴定，目前正在和英诺激光在光源技术领域进行深入研究，有望在前段时间内获得突破性进展。

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3.刚刚获得激光行业顶级大奖

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