稀缺的极紫外光源标的，石锤中标清华大学
V徐凤年
2023-09-18 12:39:20
清华大学正在研发一种全新的EUV光源方案，名为SSMB-EUV光源，可以直接把光刻机光源变成基础设施，即同步辐射光源（俗称光刻工厂）。必创科技在年报中表示为同步辐射研究用科学仪器等方面提供新型高性能科学仪器及装置，公司全资子公司卓立汉光中标清华大学的高可靠性紫外光源。
问：公司的光稳态瞬态技术，有望为国争光助力光刻厂吗（来自: 深交所互动易）
答：您好！公司的稳态瞬态荧光光谱检测系统在科研和工业领域，主要用于样品体系中相关成分或物质类别的识别、检测与空间分布确认，能否应用于光刻工艺，取决于具体应用场景的设计与需求。感谢您的关注，谢谢！
极紫外光源是EUV核心装备中的核心，DUV和EUV的主要差距就在光源上，如果DUV即将量产，接下来只要突破了极紫外光源，EUV也离量产不远了
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