ALD设备龙头企业，光伏、半导体业务共同成长。公司成立于2015年，核心业务为先进微纳米薄膜沉积设备的研发与应用，主要产品ALD设备可广泛应用于下游光伏、半导体、柔性电子等领域，2022年12月公司在科创板上市。业绩方面，2018-2022年，公司营收从0.42亿元增长到6.85亿元，年复合增长率为101.0%，2023年上半年，公司营收为3.82亿元，同比增长145.5%，公司业绩增长势头迅猛。此外，公司IPO募投项目预计将新增年产120台光伏、柔性电子领域的ALD设备以及年产40套半导体ALD设备的产能，助力公司业绩持续快速增长。

　　 ALD设备性能优异，国产替代空间广阔。ALD通过脉冲前驱体化学气相反应实现单原子层级薄膜沉积，具备精确的膜厚控制能力以及优秀的台阶覆盖率，在光伏、半导体制造工艺中有广泛应用。光伏领域，国产ALD厂商已基本实现国产替代并在国际竞争中占据优势；半导体领域，目前ALD设备国产化率极低，国内市场主要被ASM、TEL等国外厂商占据，国产替代空间广阔。

　　受益N型电池扩产，公司光伏业务有望持续高增。N型电池加速扩产，TOPCon、HJT等路线需求明确，薄膜沉积设备在TOPCon、HJT等路线价值占比较高，上游光伏设备公司深度受益。公司率先将ALD设备规模化应用于国内光伏电池产线中，拥有ALD、PECVD、扩散退火炉以及TOPCon电池工艺整线等丰富的产品组合，稳居国内领先地位，且公司光伏镀膜产品在产能、均匀性、碎片率等指标上也颇具竞争优势，与国内头部光伏厂商形成了长期合作伙伴关系，得到了客户的广泛认可。随着新一代太阳能电池技术扩产节奏逐渐进入白热化阶段，对光伏ALD设备的需求旺盛，公司光伏业务将持续受益。

　　半导体先进技术蓬勃发展，叠加国产化替代需求，公司半导体ALD设备有望加速放量。半导体先进技术如HKMG、多重曝光、先进DRAM、高堆叠层数3DNAND等对半导体ALD设备产生了的可观的需求，市场规模稳步增长，且目前美国对华制裁不断加剧，国产化替代主线坚挺，在先进技术快速发展及国产化替代趋势的背景下，国内ALD设备厂商深度受益。公司半导体ALD产品产业化进程迅速，已率先将High-k栅氧薄膜工艺应用于逻辑28nm制程，并获得客户重复订单，同时公司后续推出的应用于逻辑芯片、传统和新型存储芯片、CMOS芯片、MEMS等领域的多款ALD设备也陆续取得客户订单，未来半导体业务板块将成为公司业绩提升的重要发力点。

　　在手订单充裕，业绩增长确定性强。截止2023年中，公司在手订单共计62.53亿元，其中光伏设备订单56.21亿元，半导体设备订单5.48亿元，其他设备订单8461万元，公司在手订单充裕，且增速迅猛，后劲十足，未来业绩快速增长的确定性强。

　　投资建议：公司是国内ALD设备龙头，CVD设备也在积极布局，产品可广泛应用于光伏、半导体、柔性电子等领域，产品性能卓越，客户资源优质，近年业绩快速增长。光伏业务方面，公司在手订单充沛，新技术布局丰富，未来有望持续受益于光伏电池片的扩产；半导体业务方面，公司技术与产业化能力在国内较为稀缺，产品在逻辑、存储等诸多领域均取得客户订单，未来有望持续受益国产化替代浪潮。我们预计公司2023-2025年EPS分别为0.30元、0.79元和1.13元，对应9月14日收盘价的PE分别为149.4X、56.5X、39.6X。公司产品类别丰富，技术竞争力强，我们持续看好公司的发展，首次覆盖，给予“推荐”评级。

　　风险提示：1、技术迭代及新产品开发风险。技术及应用领域的不断发展促使下游客户对薄膜沉积设备的性能要求不断变化，如果公司未能准确理解下游客户的产线设备及工艺技术演进需求，可能导致公司设备无法满足下游生产制造商的需要。2、下游需求可能存在波动的风险。公司产品主要应用于半导体和光伏行业，如果半导体产业周期性波动或光伏产业扩产节奏放缓导致对设备的需求降低，可能对公司的经营业绩产生不利影响。3、国际贸易摩擦加剧的风险。全球产业链和供应链重新调整及贸易摩擦等因素可能导致国外供应商减少或者停止对公司零部件的供应，进而影响公司产品生产能力、生产进度和交货时间，可能对公司的经营产生不利影响。