1. 电子特气种类？

• 目前电子特气主要涉及到纯气类和氟气类产品。氟基气主要用于光源气，氟氩氙氖主 要用于 ASML 和医疗，氯和氢基的主要用于面板行业。二氧化碳主要用于海力士半导 体清洗。半导体比面板指标要求严格一点，但相差不到一个数量级。

2. 不同制程的特气纯度要求会有差别么？

• 半导体讲究良率，一般行业应用中要求一样，一个批次的产品应该是一致的，如果指 标发生变化会影响良率。所以 28nm 到 5nm 相差不大，如果用在 40nm 上也同样参数。

3. 电子特气的生产过程？

• 不太方便多讲，重点是原料气一定要OK,剩下就是纯化。原料自有能够控制中间的环 节，消除原料气不一致造成的特气不一致问题。配气主要讲究的是精度，传统的配气 精度不足，不满足半导体行业要求。

4. 公司生产的优势是？

• 公司规划的氪氙厂是亚洲最大的和钢瓶处理比较好是两点优势。

5. 特气的生产设备是国产的还是进口的？

• 19 年进口了 18 套设备，安装涉及到保密性问题，设备商美国人来指导。后来自己组建 了安装团队安装设备，老外在现场全程指导，设备是 80 个集装箱过来的集成好的，来 了只涉及到管道连接，钢瓶的处理也是进口的设备。

6. 公司电子特气中电子级二氧化碳原材料为食品级二氧化碳，氖氦氪氙等气体来自大型空分 装置，公司这边生产主要是做气体的分离、纯化、混配是么？

• 目前氪氙基本上属于外采，依靠巴陵石化，巴陵石化涉及到整体搬迁那边有一个 9 万 的空分是新建的，公司在空分的基础上有一个氪氙分离装置，到明年年底完成自有氪 氙氖。目前主要是氟得进口，国内没有高品质，国内主要是技术不行，就三四家做高 品质氟目前品质都不够，公司一直在寻找，公司进口了几个集装箱的氟，目前看十年 的是够了，将来考虑自己做形成一个产业闭环。

7. 混配气体的技术难点在哪？混配气体的设备是国内的还是进口的？听说公司买了色谱、傅 立叶变换红外光谱仪等先进进口分析设备来分析实现 ppb 级杂质含量的测量，主要是为了 做气体纯化后检测跟混配后检测么？

• 主要的难点在于精度，原料气配好后最难点是钢瓶的处理，包装不能污染特气。公司 买了色谱、傅立叶变换红外光谱仪等先进进口分析设备主要是为了分析检验原料气成 分、检验混配气体、看是否气体受到管道污染等，实施中会在自动生产线上进行闭环 控制。

8. 光刻气体认证和导入的流程是什么？

• 首先要有客户需求，然后拿着客户需求去找ASML申请认证，认证首先考虑厂家气体 的稳定性，过程就比较漫长基本上要1-2年。光刻气体在整个半导体中占比不是很大， 壁垒比较高。公司认证的是氟氪氖和氟氩氖，华特通过的是氩氖。光刻气应用首先要 通过设备厂家（ASML）的认证。

9. 客户需求怎么来的？

• 长鑫的需求，当年华特通过认证是全球货源紧张中芯国际担心影响自己产能对 ASML 推荐的，给ASML发了认证的需求函。如果ASML不给认证长鑫就只能买其他厂家的 光刻气。

10. 国内半导体电子特气导入的流程是什么？如长鑫存储导入都需要哪些流程，前期验证工作 主要有哪些？

• 前期的沟通、国产化任务、良好的客户基础，每个厂有一个单独产线小批量生产可以 做测试，客户小批量试产，试产完后进行中试，中试之后再给一小部分量作为备用供 应商，进入备用供应商之后根据良率和对供应商考核的如生产稳不稳定管控流程严不 严格。通过认证到成为合格供应商到成为主供应商起码 3 年以上周期。

11. 公司目前的电子特气中，二氧化碳、一氧化碳、氪气、氙气、氩气、氮气、氢气以及氟氩 氖混合气、氟氪氖混合气、氩氙氖混合气、氪氖混合气、氢氖混合气、氯化氢氢氖混合气 分别都用来做什么？哪些是准分子激光气？

• 氯化氢氢氖、氪气、氙气大部分用于面板。氩氙氖、氪氖是激光器光源气，氟氩氖、 氟氪氖主要用于光刻机光源。二氧化碳目前用的不多，目前只有海力士大量使用，用 于 12 寸芯片的清洗。氢氖用于光纤制造。

12. 上面这些气体在整个半导体生产过程中，占的价值量是多少？

• 整个半导体行业大概 130 吨气体，这些占比不大。以价值来说全球 2000 亿气体，这些 有 100 亿左右。

13. 半导体制程提升消耗的特气的量会增多么？

• 氪氙会加大，氪气、二氧化碳。比如海力士大量使用二氧化碳，技术成熟了其他公司 可能会用。

14. 为什么公司氪气销售要转一手，最大的一笔还经过了 4 个人的小公司？

• 公司问过半导体厂商，厂商搞贸易商考虑的是整个供货能力，公司目前产品线对于半 导体厂家来说非常不齐全。厂家是找一家整体能够供应上的贸易商，贸易商不会监测 产品质量，会直接认可生产商分析报告，有不认可的部分可以进行抽检。

15. 特气这块安全生产许可申请上会有限制么，公司扩产容易么？

• 国内在安监局申请变更的行政许可。

• 主要问题是所有对品质影响的改动都需要通知客户。因为工艺进行改造了增加了新的 设备，可能会对原来的品质造成影响，一旦有变动就需要重新认证。电子比较难做就 是这个原因。

16. 公司与存量企业（如雅克、华特）相比在特气领域有什么优势？

• 跟雅克没重合，华特以贸易形式为主公司以生产为主重合不大。当时华特认证 ASML 的两个都是惰性产品，所以精度够就行了。公司这边拳头产品就是氟基气，还涉及到 不易存储。

17. 涉及混合气体的原材料是否会受到进口管制影响？

• 存的氟数量不方便透露，配激光器 10 年应该够了。

18. 后续二期项目的披露主要包含电子级氟、电子级氯化氢以及氘代系列产品，这些东西在当 前基础上还需要再研发么，还是做一下工艺改进？

• 这个是新建的，主要是针对原料气这块，为了完善产品品质形成闭环。

• 这个也是国外买设备装上用？进展如何了？

• 买设备不是很清楚，项目已经提上日程了，老板在主抓。

19. 其他气体公司做电子特气困难的点在哪，如果他们也找到设备商买设备？

• 氟基气如果有一家做了国产化认证在使用，凯美特想进去就非常难。基本上第一家认 证非常快，第二家需要等第一家出问题才有机会，第三家完全没有问题。气体费用不 算多。

20. 凯美特做含氟就要和德尔竞争？您觉得竞争得过吗？

• 凯美特量不会很大，主要是原料气给自己用满足自己生产需求。德尔主要是氟的下游 产品。和德尔的产品重合也不多。

21. 除了凯美特气还有哪些电子特气做的不错的？

• 这几年有不少，具体一时想不起来。

22. 目前国内特气在半导体生产的渗透率是多少？

• 大概在 20%左右，每年都在增长。主要是国内有国产化要求必须要完成。之所以对氟 基气有信心主要是国内目前还没有，然后担心中美贸易在氟基气上被卡脖子没光源气 体用。

23. 目前限制渗透率提升的点在哪，是指标不够好还是认证时间长？

• 公司一部分产品已经通过了法液空的认证。

• 国内情况主要是认证难、实现周期长，同时国内整个体系和认知有差距，比如说生产 没有标准化，有一个熟练的操作工如果换了可能会对品质产生影响，换就需要得到客 户的允许，目前国内公司认为是日常经营被干预了不接受，国外能够接受这一点，所 以认为认知上面还是存在差距。当时国内找氟，各家都说行其实都不行。

24. 国内电子特气跟国外最大的差距在哪里，大概有几年？专家您感觉需要攻克哪些技术才能 赶上？

• 技术有差距，但还是觉得技术就是一张纸，捅破了就不算技术了。主要还是体系管理、 认知方面有差距。保证一致性上面是最重要的，国内有很多投机取巧。

25. 相干和 ASML 分别是什么气体？

• 主要是氟基类的，氟氩氖、氟氪氖。光源主要是这些，光刻机比较昂贵，一旦气体对 激光头产生影响,ASML是不负责保修的，所以使用的气体必须通过光刻机厂商的认证。

26. 二氧化碳走势怎么看？

• 目前食品气都是长协议价格出,在一个合同周期内价格不会动。市场价格主要是工业 气,公司工业气是一些食品气有富余降级按工业气对外销售。碳中和碳减排关停了一 些小厂造成二氧化碳价格上涨。