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无名小韭11010320
2022-09-25 09:56:53
👍🏻
@Cruise: 1/ DUV和EUV被限,国内扩产逻辑破了?光刻机大致分为两类:1)DUV深紫外线光刻机:可以制备0.13um到28/14/7nm芯片;2)EUV极紫外线光刻机:适合7nm到5/4/3nm以下芯片。目前情况下DUV光刻机并不限制中国,还在正常供应,因为供应商主要来自于欧洲荷兰的AS­ML以及日本Ni
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