核心总结：半导体业务布局最全的一家，涵盖设备-材料-耗材-先进制程零部件-晶圆生产等核心领域，故存在未来业务拓展和拔估值的重大预期，涂胶显影，晶圆制造，先进制程零部件中任何一项，都值得业绩和股价大幅重估，因为是主板，以往关注度不够，市场错误定价了，存在三倍以上补涨空间

无论半导体设备，还是半导体材料，零部件，其平均估值均在60倍以上，作为同时拥有清洗设备，炉管设备，涂胶显影设备（以往国内仅芯原微一家，现至纯科技强势入局）、气体（对标华特气体，金宏气体）、晶圆制造（对标沪硅产业，12英寸，21万片/月）、先进制程零部件（14NM以下逻辑和高密度存储芯片）等多项设备、材料布局的至纯科技，目前估值仅不到30倍，按照2025年10亿净利润，40倍估值预期，市值预期400亿+，目前市值140亿，存在三倍以上补涨空间

从设备布局领域而言，除北方华创多设备领域布局外，目前来看，多业务布局，且已投放市场的仅至纯科技一家

估值：考虑到公司订单加速交付，我们调整2023-2024年归母净利润预测分别为5.71和7.86亿元（原值5.57和7.42亿元），并预计2025年归母净利润为10.11亿元，当前市值对应动态PE分别为25、18和14倍。基于公司较高的成长性，维持“买入”评级。

半导体清洗设备充分受益进口替代，布局耗材&服务打开成长空间

在设备业务端，公司清洗设备具备持续扩张潜力，同时积极布局炉管、涂胶显影等领域。

1）清洗设备：在半导体领域，公司已能满足28nm全部湿法工艺需求，且全工艺机台均有订单，核心工序段的高阶设备累计订单量近20台，14nm及以下也有4台订单交付，国产替代驱动下有望延续快速发展。在光伏领域，2022年下半年首台单晶槽式制绒清洗设备下线，后续很快拿到近60台制绒设备订单，快速放量。

2）炉管和涂胶显影设备：公司积极研发拓展炉管和涂胶显影设备，8英寸炉管设备已有数台订单，12英寸炉管设备即将进入客户验证阶段，8英寸涂胶显影设备已交付客户验证。

1）晶圆再生：公司合肥一期产能7万片/月已经投产，是国内首条投产的12英寸晶圆再生产线，预计2023年达产；二期规划产能14万片/月，先发优势明显。

2）大宗气体：公司高纯工艺系统主业的纵向延伸，二者客户端协同性较强。公司正在投资建设半导体级的大宗气体工厂，为用户提供至少15年的高纯大宗气体整厂供应。

3）零部件：2021和2022年募投均重点加码零部件业务，其中2022年募投新增单片湿法工艺模块、核心零部件研发及产业化项目，旨在研发先进制程工艺的高阶半导体湿法工艺模块、单片式腔体、高纯度阀等，适用于14nm及以下的逻辑芯片及高密度存储芯片的制造工艺及产业化，能够大力推动单片式腔体的国产化进程。项目达成后，公司将形成高阶制程单片湿法模块年产100套，各类零部件年产近2,000套的生产能力，夯实核心竞争力。