1）整体情况：2022年上半年公司实现营收5.23亿元，yoy+364.87%；归母净利润1.08亿，上年同期为-0.2 亿；扣非后归母净利润为0.49亿，上年同期为-0.68亿（非经常性损益主要包括6278万的政府补助及262万 少数股东权益影响）。

 2）Q2单季度：公司实现营收4.16亿元，yoy+658.42%，环比+286.63%；归母净利润为1.2亿元，上年同 期为-0.1亿元；扣非归母净利润为0.71亿元，22Q1为-0.22亿元；销售毛利率为46.58%，环比-0.8538pct； 销售净利率为28.67%，环比+40.37pct。

点评： 

1）毛利率提升，三费率大幅下降：销售毛利率为46.76%，yoy+8.42pct；销售净利率为20.37%， yoy+38.61pct；销售/管理/研发/财务费用率分别为11.66%/4.54%/22.46%/-1.88%，同比分别变 化-11.97/-8.56/-49.22/+6.96pct。

 2）分产品看，PECVD仍为主体，SACVD、ALD实现突破：PECVD设备实现营收4.67亿元，占主营业务收入 的90.39%，yoy+345.21%，；SACVD设备实现营收848.37万元，占主营业务收入的1.64%；ALD设备实现 营收0.41亿元，占主营业务收入的7.97%，而去年同期SACVD和ALD并未确认收入。 

3）订单及客户情况：公司已获得逻辑芯片、存储芯片等领域现有客户重复订单和新客户订单；产品在晶圆 制造产线量产应用规模持续扩大，累计流片量从截至21年12月份的4600余万片增长至7100余万片，设备在 客户端产线生产运行稳定性也表现优异，平均机台稳定运行时间超90%（业内标准通常为大于 85%）。

 4）产品情况：原有产品验证顺利，新产品持续导入

 ①原有产品： PF-300T(双站式)PECVD设备已获得现有及新客户的验收，NF-300T(双站式)PECVD设备在DRAM领域实现首 台产业化应用； ALD反应腔通过现有客户验收，PE-ALD在逻辑芯片领域实现产业化应用； Termal-ALD设备已完成产品开发并取得客户订单。

 ②新产品： TS-300（多边形高产能平台）：可同时搭载最多5个反应腔（10个反应站），多种工艺集成组合，从而实现 真空环境下连续多步骤沉积处理，现已取得现有及新客户订单。 HDPCVD系列产品：实现深宽比小于5：1的沟槽填充，薄膜致密度更高、杂质含量更低，均取得客户订单， 其中PF-300T（单站式）已出货至客户端进行产业化验证。

 UV Cure设备：用于薄膜紫外线固化处理，可与PECVD设备成套使用，已出货至客户端进行产业化验证并取 得订单。 盈利预测：我们预计2022-2024年公司营业收入分别为12.38亿、18.07亿、24.17亿，对应PS分别为23、 16、12X，维持“持有”评级。