富创精密:真正的光刻机零部件供应商,供货上海微电子
公司设立至 2014 年:工艺积累和技术攻关阶段,实现国产化自主可控公司成立之初引进行业专家,带来技术经验和专业能力,自研产品多为 90纳米以上制程半导体设备的工艺零部件和不直接参与晶圆反应过程的外围结构零部件。公司于 2011 年承担国家“02 重大专项”中的“IC 设备关键零部件集成制造技术与加工平台”项目,依托“02 重大专项”进行自主研发,掌握了部分精密零部件的制造技术,并取得了相应专利保护。从 2011 到 2014 年,向北方微电子、上海微电子、拓荆科技等 10 余家企业交付了 1,000 余种精密零部件,产品在国产设备上得到了应用验证,实现了半导体设备部分精密零部件国产化的自主可控。在此期间,公司成功向国际半导体设备龙头客户 A 交付了首款精密