公司新签订单保持高速增长，高纯工艺系统业务基本盘稳固：

我们认为公司的传统业务高纯工艺设备将持续高增长，主要基于：1）下游FAB、IDM客户新建厂房未受影响，公司在手订单饱满，22年公司合同负债为2.70亿（YoY+13%），1Q23合同负债达3.03亿元（YoY+23%）；2）国际贸易制裁加速半导体设备及零部件国产化进程，公司下游客户多元且需求稳定，根据公司公告，22年公司新签订单42亿元（YoY+31%），23年公司预计全年新签订单52~57亿元，同比增长24%~36%。

半导体制程设备品类丰富并向先进制程拓展，切入光伏领域获得批量订单：

制程设备为公司带来新增长主要基于：1）根据中国国际招标网数据，22年中国湿法设备市场前四大供应商份额合计达96%，其中盛美上海以25%的份额位列第二，其他三家均为海外厂商；2）22年公司率先突破14nm及以下制程湿法设备并实现4台订单交付，拓展了国内光伏市场需求较大的涂胶显影设备、炉管设备等；3）公司制程设备主要客户中芯国际、华润微22年用于购建固定资产、无形资产以及其他长期资产支付的现金分别同比增长49%和69%。公司22年新增制程设备订单18亿元，同比增长60%，预计23年新增订单20~25亿，同比增长11%~39%。

定向增发彰显公司长期发展信心：

23年5月，公司定向增发拟募集资金不超过18亿，用于湿法设备核心零部件产业化项目、湿法设备及高纯工艺设备北方基地项目、启东半导体设备产业化项目。

盈利预测、估值和评级

预测2023~2025年公司将分别实现营收42.0/53.2/64.4亿元，同比+37.7%/26.7%/21.1%，考虑到公司高纯工艺系统业务行业领先，半导体制程设备放量在即，给予公司2024年35xPE，目标价51.1元/股，首次覆盖，给予“买入”评级。

风险提示

供应链风险；下游资本开支不及预期的风险；股东质押的风险；限售股解禁的风险。