目前我国已完成四代同步辐射光源的布局,其中第一代同步辐射光源是北京正负电子对
撞机上寄生的北京同步辐射装置,第二代同步辐射光源位于合肥,第三代同步辐射光源位
于上海,第四代则是正在怀柔建设的高能同步辐射光源,它侧重于物质微结构及其演化的
研究,未来将逐步应用到航空航天、能源环境、生物医药、集成电路等领域。
上海光源:
项目位于上海张江高科技园区西南部,这座 在阳光下熠熠生辉的环形建筑仿似一只巨大
的“鹦鹉螺”。利用上海光源中的X射线深度刻蚀光刻技术,可制造肉眼难以看清的微型马
达、微型齿轮、微型传感器、微型泵阀,以及微型医用器件等。工程师们还可以利用强大
光速,完成对超大规模集成电路的“精雕细刻”。
北京光源:
项目位于怀柔科学城北部核心,整个建筑形似放大镜,寓意其为探索微观世界的利器。
建筑主要包括加速器、光束线和实验站。环形加速器中产生的高通量X光经过“通道”到达实
验站。装置建设完成后,最多容纳不少于90个实验站。
重庆光源:
项目位于西部(重庆)科学城,由超瞬态同步辐射光源和超瞬态电子显微镜集群两部
分组成。其中,超瞬态同步辐射光源是以提供低发射度、高流强和高通量光源为特色的同
步辐射装置,主要服务于解决国民经济主战场中一系列“卡脖子”问题对高通量光源的迫切
需求;
雄安/清华光源:
项目位于雄安新区,最近网上爆火的就是这个,只是好多配图都用了北京光源的图,把
怀柔的放大镜扣在了雄安上。
南方光源/松山湖光源:
大湾区首个先进光源,2020年8月,深圳同步辐射光源项目建议书获深圳市发改委批
复,正式立项。深圳产业光源规划建设共55条光束线站,其中一期建设27条,线站规模远
超同类型装置。此外,为满足产业用户开展应用基础研究实际需要,深圳产业光源线站设
计坚持“4R理念”,即在真实的工业环境下对真实物质的真实制造过程进行实时研究,让实
验线站能够模拟接近生产制造的实际工况环境条件。
最后强调一下,以上同步辐射光源不等同于光刻机/工厂,只是光刻的一个环节,还需
要光刻机上下游环节的通力配合才能真正实现卡脖子的突破。依托光源建造光刻工厂,吹
响反攻科技霸权的号角。之前卡在光刻机小型化的路径里出不来,现在光刻工厂的路径来
了,正所谓格局大了,路就宽了。 其中张江高科关联上海微电子、上海光源,手握传统
光刻机及下一代光刻机(光刻工厂)两大利器,未来走势值得关注。