周末两天,关于HEPS高能同步辐射光源讨论很多,一些老师说,清华的SSMB和HEPS完全是两码事。
这里笔者想说,将同步辐射光源和SSMB完全割裂开,这个结论是非常偏颇的。如果仔细通读nature论文及相关文献不会做出以上结论。
清华的SSMB项目,全称稳态微聚束。其科学原理简单来说,就是结合同步辐射光源和和自由电子激光的特性。这个结论不是我说的,是《自然》(nature)做出的。
SMB的核心技术基础就是高能同步辐射光源,高能同步辐射光源特点是高亮度、宽能谱、高准直性,而SSMB是在此基础上重点挖掘光源束团纵向的潜力。HEPS并不是不能做光刻,只是不能满足EUV光刻的大规模量产需求(参考帖子后段“各类EUV光源特点“表格)。
同步辐射光源最重要的装备就是电子储存环,而SSMB同样需要。SSMB最初的全称为,一种基于电子储存环的光源原理—稳态微聚束 (steady-state microbunching, SSMB),SSMB是将HEPS光源特性进一步改善,从而达到满足EUV光刻的要求。
SSMB 论文作者唐传祥教授,其研究方向就是粒子加速器物理及应用。这篇发表在《自然》 (Nature)上的论文,标题是为稳态微聚原理的实验演示,副标题,是”一种新型粒子加速器光源稳态微聚束” (steady-state microbunching,SSMB),其关键词就是粒子加速器(见清华大学官网)。
下面这个清单,是我在周五中午写的。
粒子加速器(中广核技、国力股份,粒子加速器相当于光的动力装置)--->高能同步辐射光源(射频腔:东方祖业、西部材料;高次模抑制器:国光电气;HEPS特种电缆:宝胜股份;同步辐射科学仪器:必创科技)
经过周末的思考和讨论,依然强call以上标的及逻辑。
一、粒子加速器的逻辑无需赘言,上述官网新闻和nature论文均可佐证,无论是HEPS还是SSMB都需要,对应A股上市公司,中广核技、国力股份。
二、射频超导腔则是粒子加速器的关键设备,两者关系可见下图国家发改委的新闻。对应A股上市公司东方钽业、西部材料。
这里还要强调一下射频超导(superconducting RF, SRF)的重要性,实际上基于射频超导的自由电子激光 (free-electron laser, FEL)(另外一种技术路线),已经能够实现EUV光刻要求,但是由于造价过于昂贵,尚未商业化。
所以射频超导是SRF-FEL和SSMB的双重逻辑。
三、国光电气中标北京第四代HEPS项目关键设备,高次模抑制器。
四、必创科技,公司产品包括同步辐射科学仪器,同时子公司卓立汉光为清华大学供应商。
五、森特股份,中科院高能同步辐射项目由森特完成。