经营情况：整体稳健，真空泵业务快速增长
1）21年营收/归母净利润29.81亿元/4.87亿元，同比+31.20%/+34.11%；22Q1营收/归母净利润5.95/0.91亿元，同比+2.67%/22.67%，业绩增长稳健；
2）真空泵/压缩机21年营收10.43/16.97亿元，同比+60%/+17%，收入占比35%/57%，毛利率43%/30%，真空泵增速快，毛利高。

真空泵业务（核心看点）：短期关注光伏真空泵，中长期关注半导体真空泵
1）光伏真空泵：真空泵业务主要收入来源。 2022市场空间约12-18亿元。公司拉晶环节市占率70%+，电池片30%。未来，硅片扩产+N型技术迭代+电池片市占率上升驱动业绩增长。
2）半导体真空泵：2022大陆+台湾市场空间100亿元，国外公司95%市场份额。公司已给联电等台湾半导体厂批量供货，大陆半导体厂实现小批量供货，未来国产替代空间广阔。
3）维保服务：2022市场空间约40亿元，对标分析海外龙头Atlas，维保业务收入更持续稳定，现金流更好，利润率更高，未来随着公司真空泵销量提升，维保业务增长可期。

压缩机业务：整体维持稳健增长
传统业务包含制冷压缩机和空气压缩机，用于中央空调、冷链物流、热泵和工业气源。其中，冷冻冷藏受益政策及需求增长，预期增速较快；中央空调、空压机行业整体承压，维持低速增长。

投资建议
公司业绩稳健，当前估值低，安全边际高，预计公司2022-24年归母净利润为5.94/7.22/8.69亿元，对应PE 15/12/10倍，合理股价为21.63-23.50元，增长空间32%-45%。

风险提示
整体经济下行；真空泵业务不及预期；原材料价格波动；疫情反复风险。