1 炬光科技：主要做光刻机照明系统内匀化器，ASP约20w，客户供应ASML、上海微。ASML预计23年DUV光刻机出货量400台以上，炬光间接份额50%，对应4000w以上收入。上海微90nm光刻机预计出货量5台左右，对应100万元；28nm光刻机尚处于研发阶段。
2 茂莱光学：供应后道光刻机成像镜头内镜片以及前道光刻机照明、测量系统内光学镜片，供应上海微。1）后道光刻机：对应茂莱价值量约40万元，国内需求50万台，假设100%实现镜头国产化（目前主要进口），对应2000万元（茂莱份额100%）；2）前道光刻机：对应茂莱价值量约300万元（90nm），假设25年90nm光刻机出货量达10台以上，对应3000万元以上。预计25年茂莱光刻机收入有望达到5000万元。
3 福晶科技：供应光刻机测量系统内光学元件，包括透镜、棱镜、分光等，预计合计价值量100万元。
4 腾景科技：供应光刻机照明系统内多波段合分束器，合计价值量约20-30万元。
5 苏大维格：供应光刻机测量系统内光栅（合计约2片），合计价值量约20-30万元，通过上海微认正。

因此中期（25年）绝对收入体量，炬光＞茂莱＞福晶＞腾景=苏大维格。