较早进入国际设备龙头供应链，覆盖大陆各细分设备龙头。 公司覆盖海内外设备龙头客户，2021 年大陆/国外营收占比 39%/61%，国内占比有望 进一步提升。1）海外：早在 2011 年就成为国际设备龙头客户 A 的合格供应商，201 6 年成为战略供应商，2021 年客户 A 贡献 56%营收，公司是大陆为数不多进入客户 A 的内资厂商；同时公司还进入东京电子、HITACHI High-Tech、ASML 等海外厂商 供应链。2）大陆：公司是北方华创、芯源微、拓荆科技、中微公司、华海清科等头 部设备厂的合格供应商，2020 年成为北方华创战略供应商，近两年公司导入大陆设 备厂的数量明显增加，公司产品种类多样、覆盖所有前道设备，将深度享受国产替代 红利。 

零部件国产化是设备国产化必经之路，成长空间广阔。 设备厂多采用“轻资产”运营模式，零部件是设备的关键构成，占设备成本近 8 成。 预计 2022 年全球半导体零部件市场超 400 亿美金，大陆是全球第一大设备市场。大 陆零部件国产化率极低，大陆设备厂主要从日本、美国等采购，因中美贸易摩擦，目 前设备厂的零部件本土化需求迫切，国产零部件导入提速，大陆零部件厂商进入快增 长阶段。公司四大类产品全球市场合计约 160 亿美元，目前公司在大陆和全球市场占 有率不足 1%，在国内，公司国产替代空间广阔，在全球，公司份额提升空间广阔。 

前瞻性布局产能，有序扩产驱动业绩增长。 公司 2017 年预投产能，2020 年扩大沈阳工厂产能，2021 年沈阳工厂基本满产，其 中工艺及结构零部件产能利用率达 90%，气体管路产能利用率达 63%，2021 年启动 南通和北京扩产，其中南通产能为 IPO 募投项目，预计 2025 年南通工厂满产，目前 公司产能利用率处于高位，预期新建产能释放将带动业绩高增。 

投资建议：公司是大陆半导体零部件领头羊，是大陆较为纯粹的半导体设备零部件供 应商，工艺完备、产品多样，受海内外设备龙头认可，公司稀缺性强。大陆零部件大 市场、低自给，目前本土化进程明显加速，随着公司新建产能释放，公司有望充分受 益国产替代机遇，同时享受全球半导体产业发展红利，公司成长性优。预计 2023/20 24 年营业收入分别为 20/28 亿元，净利润为 2.6/3.6 亿元，公司 PS 估值为 14/10 倍，低于可比公司平均估值，且公司兼具成长性与稀缺性，首次覆盖予以“买入”评 级。

风险提示 半导体周期下行风险、新建产能不及预期、公司业务海外占比高的风险、行业规模测 算偏差的风险、所依据的信息滞后的风险。