易天股份——公司控股子公司深圳市微组半导体科技有限公司部分产品为半导体相关设备,如微组部分设备用于WLP级、SIP级封装等,半导体元器件有微组装设备、封装测试等设备。
与清华雄安自由电子激光极紫外光刻光源同时上马的同类竞争项目:总投资约41亿元,四川中物院研制的10nm节点自由电子激光千瓦级光刻光源工程测试样机(2021-2026年)数千瓦极紫外自由电子激光光源及光刻验证装置项目由中国工程物理研究院第十研究所承担,总投资约41亿元,拟通过“数千瓦极紫外自由电子激光光源及光刻验证装置”,建立①大功率极紫外光源,通过②光刻光源预处理系统及光刻验证系统,验证自由电子激光用于光刻的各种关键物理及工程问题,完成10nm节点光刻演示验证,建立首台千瓦极紫外光刻工程测试样机,为我国掌握大规模极紫外光刻(EUV) 生产能力、突破芯片制造“卡脖子”问题提供条件。项目拟于2021年启动建设,2026年底完成验收
中物院十所持续努力发展自由电子激光事业。在短波长一端,将电子束能量进一步提高,可将输出波长缩短至极紫外波段,利用高平均功率电子枪和连续波超导加速器,可以产生数千瓦至数万瓦的13.5nm波长的极紫外光功率,可用于极紫外光刻的规模生产,采用单台光源支撑起数十台极紫外光刻机,随着未来极紫外光刻产能要求进一步提高,节点进一步向下,以及光刻胶功率敏感度的进一步降低,这一方案也被ASML公司等单位认为是下一代超大规模集成电路生产的新光源方案,这一方案也可能为我国解决光刻卡脖子问题找到一个重要突破口
然后易天股份的控股子公司微组半导体今年8月就披露了和中国工程物理研究所的部分订单
众所周知,一台光刻机设备是需要多种高端设备,包括晶圆传送模组、测量系统、光路系统、投影物镜、光源和工作台等,而易天股份的子公司微组半导体做的就是除了光刻机的光源之外的其他相关设备的配套工作