【海通电子】中微公司：Prismo UniMax MOCVD设备订单超100腔

9日公司官微宣布MOCVD设备又一里程碑：今年6月正式发布的Prismo UniMax MOCVD设备订单超100腔。

设备主要用于氮化镓(GaN)基Mini LED外延片量产，Mini LED可被广泛应用于电视、笔记本电脑、平板电脑、桌面显示器、车载显示屏、户外显示屏等终端产品。

Prismo UniMax MOCVD设备为高性能Mini LED量产设计，通过创新的多区温度调节系统，能精确控制托盘局部区域温度，有助于更大程度上提升LED波长均匀性。

设备配置多达4个反应腔，每个反应腔可独立控制；785mm大直径石墨托盘，可同时加工164片4英寸或72片6英寸外延晶片，提高产能并有效降低Mini LED生产成本。

公司用于LED生产领域的MOCVD设备系列产品包括Prismo D-BLUE(2013年推出)、Prismo A7和PrismoHiT3以及Prismo UniMax。