半导体检测设备进入产业化加速期
夜长梦山
2023-09-01 11:07:32
半导体检测设备进入产业化加速期，推荐中科飞测、精测电子
（1）良率是晶圆生产的关键，半导体量检测设备在控制芯片良率中发挥核心作用，产品技术壁垒高、国产化率极低。根据SEMI，前道量检测设备约占半导体设备市场规模的11%，是仅次于光刻机的高壁垒设备。半导体量检测设备中国大陆市场规模约30亿美元，KLA、应用材料、日立等国外厂商长期垄断中国市场，国产替代前景广阔。
（2）在明场/暗场检测领域，中科飞测、精测电子储备丰富技术。精测首台明场缺陷检测设备BFI-100E于2022年底交付客户验证。中科飞测明场/暗场设备进展亦非常顺利。
（3）中科飞测目前已量产无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、三维形貌量测设备、薄膜膜厚量测设备、套刻精度量测设备，设备已应用到中芯国际、长江存储、士兰集科、青岛芯恩、长电科技、通富微电等企业产线，22年其中国大陆市场份额约2%，规模上位列国产第一。
（4）精测电子于2018年开始布局半导体领域，产品涵盖膜厚量测、关键尺寸量测、硅片应力量测、电子束缺陷检测、明场光学缺陷检测，设备已进入广州粤芯、长江存储、中芯国际等厂商。截止2023年4月23日，公司半导体在手订单约8.9亿元，于8月11日公司再新签1.7亿订单，检测设备进入放量成长期。
西部半导体
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