控股子公司赛莱克斯微系统科技（北京）有限公司以MEMS（Micro-Electro-MechanicalSystems的缩写，即微电子机械系统，简称为微机电系统）工艺为某客户制造的MEMS微振镜完成了小批量试生产阶段。2023年9月13日，该客户已与赛莱克斯北京同步签署采购订单，赛莱克斯北京开始进行MEMS微振镜的商业化规模量产。
那么MEMS微振镜是什么呢？
MEMS微振镜是一种微型电子机械系统（MEMS）设备，用于控制和调整微小的光学元件，例如反射镜或光学透镜。这些微振镜通常由微型电机和微机械结构组成，可以在微观尺度上移动和控制光学元件的位置或方向。
MEMS微振镜的主要应用领域包括光学通信、激光投影、生物医学成像、光谱分析、激光雷达和虚拟现实等。它们可以用来精确控制光路，进行光束的定向、偏转和聚焦，从而实现多种光学功能。由于它们的微小尺寸、快速响应和低功耗，MEMS微振镜在许多应用中都具有重要的优势。
那么MEMS微振镜能用在光刻机上吗？
我查到了以下信息：
MEMS微振镜可以用在光刻机上，并在半导体制造和微电子工艺中发挥重要作用。光刻是半导体制造过程中的关键步骤，用于将芯片上的图案或结构转移到硅片或其他半导体材料上，以创建集成电路和其他微电子设备。
MEMS微振镜在光刻机中的主要应用包括以下几个方面：
光路控制：MEMS微振镜可用于精确控制光路，包括调整激光束的位置、角度和焦距。这对于在硅片上创建微小、复杂的图案非常重要。
自适应光学：一些光刻机使用MEMS微振镜来实现自适应光学系统，能够根据实际的光刻情况来调整光路，以补偿材料表面不均匀性或其他干扰因素，从而获得更高的光刻质量和一致性。
多光束光刻：MEMS微振镜可以用于控制多个激光光束的位置和方向，从而实现更高的生产效率和多通道光刻。
激光打标和刻蚀：在一些应用中，MEMS微振镜可用于控制激光打标或刻蚀系统，以在半导体器件上创建标记、标志或图案。
- 1