①半导体清洗设备产品结构正在发生变化，存储客户也有突破。

       过去公司半导体清洗设备给不上估值，除了环节因素外，还有市场觉得跟龙一差距较大，体现在两点:单片清洗设备占比较低，其次存储客户是短板。2022年均有积极变化，产品结构方面，2022年公司半导体清洗设备新接18个亿订单;客户结构方面，长鑫和晋华已经有订单，长存也将迎来工艺机台验正，存储客户已经有所突破。2018年以来公司和龙一清洗设备收入差距在快速缩小，预计2023年公司半导体清洗设备新接订单将达30亿，预计2022年收入12-13亿，2023年收入预计接近20亿，给8-10倍PS对应市值也有160亿-200亿。

②高纯工艺系统业务下游景气度较高，仍将实现快速增长。

       高纯工艺系统业务是公司传统主业，下游主要面向集成电路、光伏等高景气度赛道，仅考虑以上两个行业，我们判断2021国内高纯工艺市场规模将突破200亿元，2021年公司高纯工艺系统收入10.78亿元，市占率不足10%，叠加下游行业高景气度，我们预计仍将实现快速增长。加上光传感器等业务，2022年我们预计利润2.5-3亿，2023年预计35-4亿利润，给20倍pe。

③耗材&服务:零部件、晶圆再生、气体打开成长空间。

       1)零部件:我们预估2021年中国大陆半导体设备零部件市场规模约117亿美元。2021年可转责募投项目重点加码，2023年逐步放量(零部件表面处理+腔体结构件)，将成为后续发展重点。2)晶圆再生:公司合肥一期产能7万片月已经投产，预计2023年达产;二期规划产能14万片月，先发优势明显。3)大宗气体:高纯工艺系统主业的纵向延伸，正在建设半导体级大宗气体工厂，为用户提供至少15年高纯大宗气体整厂供应。

       仅考虑高纯工艺+半导体设备23年业绩合理市值就超过250亿，公司是半导体设备板块最为低估的公司，当前位置有翻倍空间。