光芯片重要性凸显及未来成长性:磷化铟光芯片及组件是光模块中最大的成本项,其性能直接决定光模块的传输速率,是光通信产业链的核心之一。根据Yole预测,磷化铟器件预计到2026年下游应用规模将达到约52亿美元,20-26年复合增长率为16%。
国产化率低、成长空间广阔:国内厂商在2.5G及以下、10G光芯片上具有一定优势,但25G光芯片的国产化率约20%,25G 以上光芯片的国产化率仍较低约5%。
生产工艺是核心壁垒:光芯片的制造成本中制造费用占比最高,良率决定各家能力。生产流程中,量子阱、光栅、光波导、 镀膜等环节成为竞争关键。
涉及上市公司:源杰科技(与电子团队联合覆盖)、仕佳光子、光迅科技、长光华芯、光库科技。
风险提示:人才及技术更新风险;下游需求不达预期风险;竞争导致毛利率下降风险;潜在竞争的风险;全球化、国产替 代不及预期;报告中引用22年业绩快报仅为上市公司初步核算数据,请以公司最终公告为准。
1.5. 光芯片及组件:光模块中最大的成本项根据中际旭创披露的2016年1-8月光模块成本构成,芯片成本占60-70%(光芯片及组件占50%,比重最大;电芯片成本占15%),人工和 其他成本占23%;
光模块中的芯片包含:光芯片(激光器芯片和探测器芯片)、电芯片(LD驱动芯片、TIA跨阻放大芯片、CDR时钟和数据电路、DSP、 MUX&DeMUX等)。
光芯片的制造成本构成成本中,制造成本占比达59%、人工成本占24%、材料成本占17%(源杰2021年各速率产品成本合并统计)
(1)制造费用主要包括折旧费、装修费摊销、水电费、光栅加工费等其他费用。
(2)光芯片的原材料包括衬底、金靶、特殊气体(主要包括高纯氢、磷化氢、液氮等)、三甲基铟、光刻胶、封装材料(包括管帽等) 和其他材料等,其他原材料包括显影液、光刻掩模板、异丙醇、砷化氢等材料,其他原材料品种较多且占比较低。
(3)衬底供应商为通美、住友、云南锗业等。
磷化铟光芯片的生产流程及产业链磷化铟产业链上游为晶体生长、衬底和外延片的生产加工环节。从衬底生产的原材料和设备来看,其中原材料包括金属铟、红磷、坩埚 等;生产设备涉及晶体生长炉、研磨机、抛光机、切割机、检测与测试设备等。产业链中游包括集成电路设计、制造和封测环节。产业 链下游应用主要涉及光通信、 无人驾驶、人工智能、可穿戴设备等多个领域。
各环节厂商:1)衬底厂商:北京通美、 日本 JX、Sumitomo及少数国内厂商。2-1)外延厂商:IQE、 台湾联亚光电、 台湾全新光电、 台湾英特磊等,2-2)器件厂商包括Finisar、 Lumentum、 AOI等。3)IDM模式厂商:国内的源杰科技、仕佳光子、长光华芯等。
磷化铟衬底市场及竞争格局根据 Yole统计显示,到 2026 年全球光模块器件磷化铟衬底(折合两英寸)预计销量将超过 100万片, 2019 年-2026 年复合增长率达 13.94%, 2026 年全球光模块器件磷化铟衬底预计市场规模将达到 1.57 亿美元。
2020 年全球前三大厂商占据磷化铟衬底市场 90%以上市场份额,其中 Sumitomo 为全球第一大厂商, 占比为 42%; 北京通美位居第二, 占比 36%。
化合物半导体单晶生长的制备方法有水平布里奇曼法(HB)、垂直布里奇曼法(VB)、液封切克劳斯基法( LEC)、垂直梯度冷凝法 ( VGF),磷化铟单晶批量生长的技术主要包括后三种。北京通美和Sumitomo 分别使用 VGF 和 VB 技术可以生长出直径 6 英寸磷化铟 单晶,日本 JX 使用 LEC 技术可以生长出直径 4 英寸的磷化铟单晶。
磷化铟光芯片制造工艺流程的几个难点1、量子阱外延层的设计和制造:通过MOCVD生长量子阱外延片 多层结构。该环节是激光器芯片的设计和制造的核心工艺之一, 影响产品光电转化效率与高速性能,是激光器芯片调制速率能 否达到25G及以上的关键工艺之一。
2、光栅结构的设计和制造:利用高精度的电子束光栅系统,在 晶圆中制造多条宽度约100nm的变相位周期布拉格光栅掩膜,再 利用高精度刻蚀技术,将光栅掩膜图样转移至晶圆,然后利用 MOCVD进行光栅刻蚀层的覆盖生长,最终在晶圆上形成多周期 布拉格光栅结构,实现激光器发射的单纵模输出和特定的发光 波长及单色性。
3、光波导的设计和制造:光波导,即光在激光器里传输的通道。 采用光刻技术制作微米级光波导结构,利用波导材料与周围材 料的折射率差异,引导光子传输路径,使得光子在谐振腔内往 复谐振,实现光子的稳定单模态输出。
4、光学端面镀膜的设计和制造:晶圆解离成巴条后,需对暴露 的激光器芯片谐振腔两侧的出光端进行光学镀膜,一侧背光端 面为高反射镀膜,另一侧出光端面为高透射镀膜,利用纳米级 光学膜层的厚度设计与制备工艺,控制芯片两侧的出光比例, 形成单端高强度出光。
磷化铟光芯片制作中量子阱和光栅工艺量子阱工艺:晶圆有源发光区的量子阱设计和制造是激光器芯片的核心。(1)量子阱外延片共包含20~30层结构,每层量子阱厚度4~ 10nm不等。相较于中低速率激光器芯片, 25G DFB激光器芯片有源区量子阱堆叠层数更多。(2) 每层量子阱的材料比例误差会造成量 子阱发光波长的偏差、 量子阱各层间的应力偏差,影响产品最终性能与可靠性, 25G DFB 激光器芯片要求对每层材料厚度、 比例、电 学掺杂、缺陷控制等参数的精准控制。
光栅工艺:主要在涂有光刻胶的基板上定义出光栅结构对应的掩膜图形,再利用刻蚀技术将掩膜上的图形转移至衬底上形成最终的光栅 结构。光栅工艺主要分为两种,一种是全息光栅工艺,即利用两束激光的干涉条纹定义周期性掩膜图形,全息光栅工艺在 2.5G 激光器 芯片生产中广泛使用;另外一种是电子束光栅工艺即利用电磁场控制电子形成电子束,利用电子束定义掩膜图形,该工艺技术较全息光 栅工艺更为先进,能大幅提高光栅的控制精度。