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唯一光刻胶电镜国产替代
xiao ming
长线持有的吃面达人
2023-11-16 17:08:47
钢研纳克(300797.SZ)3月10日在投资者互动平台表示,公司控股子公司纳克微束生产的场发射扫描电子显微镜FE-1050系列、FE-2050系列产品可用于光刻胶缺陷分析。

纳克微束FE-1050系列高分辨(场发射)扫描电镜,是国内首款低电压高分辨力扫描电镜,也是国内首款可搭载聚焦离子束(FIB)模块的大型场发射电镜平台。其拥有卓越的成像性能,稳定可靠的运行记录,以及智能的操作体验。 FE-1050系列高分辨场发射扫描电镜配备新一代电子光学镜筒,具备优越电子光学性能。在保证高电压分辨力的前提下,重点优化了低电压下的分辨力,低压分辨能力实现1.5nm@1kV,达到国际先进水平。更能展现样品表面形貌信息的同时,使研究人员轻松应对各类样品的成像测试需求。 FE-1050系列高分辨场发射扫描电镜具备宽大的主真空腔室,尺寸达到320mm×340mm×300mm(L×W×H),最大可进入Φ300mm×50mm的大型样品。基于这一基础,全新设计的系统平台最大化考虑通用扩展性,可保证兼容任意第三方厂商探测器及附件系统,适用于多个应用领域。多达27个附件端口的数量,让FE-1050系列扫描电镜成为目前可扩展性最强的扫描电镜之一。 FE-1050系列扫描电镜具备自动化进取样功能,配有多角度相机,能够全方位监控腔室内的情况;拥有贴近用户设计的系统交互软件,最大程度简化用户操作,即使没有电镜使用经验的用户也可对其轻松上手;配备软件算法,可智能化对图像中的特征物进行识别统计。软硬件结合的智能化操作流程充分考虑到研究人员的操作体验感,真正将用户从繁琐的重复操作中解放出来。

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