 多年大力投入半导体设备，持续突破新产品 公司近年来集中优秀资源深耕半导体设备，膜厚量测设备率先突破，仅用一年就实现了 集成式和独立式机型的双双突破。2019、2020、2021H1 半导体设备收入从 700 万，跃 升到 6500 万，再到半年超 6500 万，增长强劲。公司布局 OCD 设备、电子束检测设备 也已在客户验证阶段，有望发展成为半导体设备第二、第三增长点。

  晶圆检测设备壁垒极高，是建设“去A线”的关键 2019 年以来，我国面临科技封锁日甚，在代表高精尖科技的半导体领域尤为突出，自主 研发，建设“去 A 线”势在必行。检测设备涉及到光学、电学、材料、机械等综合学科， 技术壁垒极高。美国的 KLA Tencor 在各类晶圆检测设备中市占率均超过 50%，除此以 外市场主要由应用材料及东京电子、Nano 等日本厂商掌握。 我国建设“去 A 线”甚至 纯国产线，晶圆检测设备是无法回避的难关。公司是国内为数不多的耕耘这一板块的公 司，将承担国产化重任。据 Semi 数据，2020 年全球半导体设备市场规模为 711 亿美元， 其中前道测试设备市场规模占 8.45%，达 60.1 亿美元，后道封测设备市场规模占 5.4%， 达 38.5 亿美元。 

 锂电设备产品线持续拓展，逐步进入收获期 公司基于自身 AOI 检测等技术优势，2019 年开始进入锂电设备行业，从化成分容设备、 BMS 测试设备、PACK 测试设备等开始，2020 年已有 8000 万收入。公司继续向上中游 设备拓展，产品线覆盖度不断完善。近几年随着新能源车、电化学储能的快速发展，锂 电池企业持续快速扩产，公司订单进入加速期。  传统主业显示面板设备持续高速成长，龙头优势愈发明显 公司显示面板业务除去年因为疫情原因小幅增长以外，收入始终维持 40%以上高速增 长。公司一方面不断突破大客户市占率持续提升；另一方面向上游核心零部件延伸，预 计后续仍将保持高速增长态势。

  投资建议 公司作为国内稀缺的检测设备企业，是半导体设备国产化的主力军，有望率先受益国内 晶圆线建设浪潮。此外，公司显示面板检测设备、锂电设备也在高速增长中。预计公司 21/22/23 年净利润 2.96 亿、5.99 亿、11.03 亿，对应 P/E 为 66x、32x、18x。考虑到分 部估值，我们给予公司 2022 年目标市值 329 亿元，首次覆盖，给予“推荐”评级。  风险提示 半导体设备技术研发不及预期风险；客户过于集中风险；行业竞争加剧风险