7月6日消息,美国正在扩大遏制中国崛起的运动。据知情人士透露,美国已向荷兰政府施压,要求其禁止ASML Holding NV向中国出售生产全球大量芯片所需的主流技术。美国政府希望将限制范围扩大至稍旧的DUV光刻机设备等。这些设备是半导体生产过程中所必需的,并且在这一市场中ASML拥有垄断地位。
有知情人士称,美国还试图在对中国禁售光刻机方面向日本施加压力,因为日本尼康公司在ArFi光刻机领域占有少量市场份额。
EUV是未来光刻技术和先进制程的核心,此前美国已经对华禁售EUV光刻机。
DUV能满足绝大多数需求:覆盖7nm及以上制程需求。DUV和EUV最大的区别在光源方案。EUV的光源波长为13.5nm,但最先进DUV的光源波只有193nm,较长的波长使DUV无法实现更高的分辨率,因此DUV只能用于制造7nm及以上制程的芯片。鉴于DUV涵盖了大部分数字芯片和几乎所有的模拟芯片。所以,完全掌握DUV技术就能在各类芯片领域有所建树。然而,随着先进制程向5nm及以下先进制程进化,EUV成为了刚需。
美国现在连DUV光刻机都想禁售,有点想往死里扼杀中国的意思。国产替代需要加速!
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