公司是国内半导体涂胶显影设备龙头。公司是国内半导体涂胶显影设备的龙头企业，主要产品包括涂胶显影设备和单片式湿法设备，可用于集成电路前道晶圆加工领域和后道先进封装领域，以及化合物、MEMS、LED芯片制造等领域。2021年公司的前道涂胶显影设备获得了多个前道大客户订单及应用，下游客户覆盖逻辑、存储、功率器件及其他特种工艺等多家国内厂商，实现了小批量国产替代。公司生产的off-line涂胶显影机已实现批量销售，I-line涂胶显影机已经通过部分客户验证并进入量产销售阶段，KrF涂胶显影机已经通过客户ATP验收。未来公司将沿着offline（前道Barc、PI）→inline（I-line→KrF→ArF→ArFi（浸没式））的工艺发展路线，逐步实现前道涂胶显影设备的工艺提升。2021年公司涂胶显影设备收入为5.06亿元，同比增长114%，在总营收中的占比为61%，我们预计2022-2024年该业务的营收分别为7.82/10.26/12.73亿元。

　　公司前道物理清洗设备实现国产替代，产品逐步向化学清洗设备延伸。公司在前道物理清洗领域已掌握28nm工艺节点的核心技术，该类设备已经达到国际先进水平并成功实现国产替代。该类设备2020年已在国内多个重点客户处通过验证，2021年获得中芯国际、上海华力、武汉新芯、厦门士兰集科、扬杰科技、青岛芯恩、上海积塔等国内多家Fab厂商的批量重复订单。未来，公司将沿着单片式物理清洗机→单片式化学清洗机的产品工艺路线，逐步扩大单片清洗机的市场覆盖率，可应用于更高工艺等级的前道晶圆制造领域。公司2021年单片式湿法设备收入为2.90亿元，同比增长281%，在总营收中的占比为35%，我们预计2022-2024年该业务的营收分别为4.50/6.47/8.68亿元。

　　公司22Q1业绩靓丽，产品竞争力不断增强，新签订单量高速增长。公司2022Q1营业收入为1.84亿元，同比+62%，实现归母净利润0.32亿元，同比+398%，实现扣非归母净利润0.31亿元，同比增长580%，业绩实现大幅增长。2022Q1公司核心产品在关键客户表现良好，市场认可度不断提高，新签订单保持高速增长。从2022Q1签单的情况来看，公司前道领域产品已经开始放量，2022年新签订单的结构中前道产品的占比大幅提升。公司目前在手订单饱满，本轮疫情对公司生产情况影响较小，预计2022年新签订单也将保持高速增长。

　　盈利预测、估值与评级：芯源微是国内涂胶显影设备的龙头企业，涂胶显影设备和清洗设备有望随着下游客户验证及导入的加速而逐步放量。我们维持芯源微2022-2024年的归母净利润分别为1.42、2.09、2.80亿元，当前市值对应的PS分别为8x、6x、5x，维持“买入”评级。