事件概述：10月28日，至纯科技发布2022年三季报，公司3Q22实现营收8.06亿元，同比增长122.51%，环比增长40.79%；实现归母净利润0.81亿元，同比增长115.60%，环比增长36.64%；实现扣非净利润0.88亿元，同比增长133.25%，环比增长51.11%。

　　营收净利高增，在手订单饱满。得益于半导体设备和超纯系统业务线的亮眼表现，公司3Q22营收达8.06亿元，同比增长122.51%，环比增长40.79%。利润端表现同样强劲，公司3Q22实现母净利润0.81亿元，同比增长115.60%，净利率达10.06%。资产负债端，公司3Q22合同负债2.83亿元，较去年同期增长1.31亿元，主要得益于在手订单的高速增长。2022年前三季度公司新签订单达36.21亿元。

　　展望全年，公司仍维持前期业绩预测，预计实现归母净利润3-3.3亿元，对应同比增速6.5-17.1%，预计全年新签订单达40亿元。

　　高纯系统业务表现稳健，湿法设备快速放量。高纯系统业务主要以晶圆制造支持型设备为主，公司气体及化学品设备国产替代进展顺利，已经成为主流集成电路制造用户的认定品牌。2022年上半年主要客户订单保持持续增长，核心客户均为行业一线集成电路制造企业如中芯、华虹、长江存储、合肥长鑫、士兰微等。

　　制程设备方面，公司湿法设备的用户已经覆盖国内主流晶圆制造企业，2022H1新增订单8.06亿元，同比增长87.44%，公司目标全年新增订单20亿元，保持同比50%以上增长。此外，在成熟机型快速成熟的同时，公司14nm以下先进制程设备已实现出货，截至中报已交付4台，工艺升级有序推进。

　　转债募投，布局半导体零部件。2022年6月，公司发布了发行可转债的预案，公司拟募集资金11亿元，用于单片湿法工艺模块、核心零部件研发项目、至纯北方半导体研发生产中心项目和半导体设备模组及部件制造项目，目的是研发自身湿法设备的核心工艺模块，实现核心零部件自产，同时亦拓展其他设备零部件制造业务，实现产品线向上游的进一步延伸。

　　投资建议：我们预计公司2022-2024年实现营业收入29.66/40.93/51.46亿元，实现归母净利润3.50/5.00/6.69亿元。对应当前股价的PE分别为42/29/22倍。我们看好公司半导体设备和零部件业务的长期成长空间，维持“推荐”评级。

　　风险提示：扩产不及预期；上游原料价格波动；客户拓展不及预期