华懋科技光刻材料方面,公司重要参股公司徐州博康作为国内领先的IC光刻胶与光刻材料公司,2022年以来在光刻胶相关的技术与工艺环节突破不断,也得到了下游客户的认可,有多款高端光刻胶产品分别获得了国内 12寸晶圆厂的相关订单,包括ArF-immersion产品及 ArF-dry,KrF,I-line等。其中,ArF-immersion产品已经适用于28-45nm制程。2022年以来形成销售的ArF光刻胶、KrF光刻胶及I线光刻胶分别有5、15、14款。同时,控股子公司东阳华芯在上半年也取得了开工许可,目前“年产8000吨光刻材料新建项目”建设工作正在有序推进中。 问:请问国内其他光刻胶竞争者的ArF和KrF的产能如何? 博康在产能方面是否具有优势?答:比起产能,更值得关注光刻胶配方的稳定性以及工艺控制是否能够达到晶圆厂的要求,就是国产替代的光刻胶是否能够在性能上与日本美国的匹配。所以现在要关注的是有效产能,以及光刻胶公司的研发实力,包括上游的材料是否能够持续完整的供应、是否自主可控。只有在这些问题全部解决基础之上,才能考虑产能是否能够达标。同时,除了徐州博康的工厂之外,东阳华芯也在积极扩大光刻胶的产能,因此从产能角度,目前整个产能是比较充裕的。
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