近期,根据《杭州市临安区经济和信息化局关于区政协十届一次会议第203号提案的复函》中的信息:1、启尔机电的光刻机浸液系统项目已成功交付0号样机、1号机,进入产品制造阶段;2、华卓精科承担的02专2 项光刻机工件台项目加快建设。 8 浸液系统是193nm ArF浸没式光刻机(可用于28nm芯片制造)的核心子系统之一,浸液系统通过光在超纯 水中的折射来降低波长以实现更高的光刻分辨率,目前40nm及以下的光刻机普遍需要浸液系统,启尔机电浸液系统进入产品制造阶段标志着国产193nm ArF浸没式光刻机又一个受制约的关键零部件被攻克,国产28nm光刻机进程加速。我们认为,核心零部件是半导体设备实现迭代升级,自主可控的关键,当前全球设备零部件供应紧缺,半导体设备交期普遍拉长,为国产半导体核心零部件的供应链导入提供了良好窗口期。6建议关注品类拓张/技术升级/订单放量的设备零部件企业,重点关注:江丰电子、神工股份、新莱应材、华6亚智能、光力科技、富创精密(未上市)、华卓精科(未上市)。前瞻一刻|浙商电子!!!聚焦增量|欢迎交流!
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