但是，还有一个底部区域的有待资金挖掘，即沪深京三市市值最小的半导体设备+材料股——飞鹿股份，总市值15亿左右，流通市值12亿左右。

一、飞鹿股份2021年报披露，半导体行业是公司新开拓第二赛道，公司坚持半导体材料+半导体清洗设备的双向业务发展方向。

在半导体清洗设备方面，公司旗下控股子公司苏州恩腾半导体科技有限公司已经具有多片清洗机多项专利技术并正在开发单片清洗机，其产品已经覆盖部分国内半导体行业主流企业。

在半导体材料方面，公司主要布局抛光布、抛光液等产品，这对于深耕高分子材料多年的公司来说具有较明显的技术研发优势。后期公司将全力打造公司在半导体行业的品牌、研发、生产等优势。

公司半导体领域主要系与国外技术人士一起合作发展，主要以硬件和软件的内部自主研发为主。截止报告期末，在半导 体领域获授权实用新型专利11项，与此同时已经成功进入国内多家大型半导体企业供应商名录，公司所生产的成熟的多片清洗设备已经在客户处得到验证并持续供货。

根据互动易平台披露，苏州恩腾主营于半导体清洗等专用设备并正向其配套服务进行延伸，其优势主要有以下几个方面：一是较强的研发能力，苏州恩腾拥有丰富的国内和海外的半导体领域的研发资源，多年从事研发半导体纳米级湿法多片清洗设备，充分掌握着多片清洗机多项专利技术；二是成熟的产品，苏州恩腾现在已经拥有成熟的多片清洗设备，能够满足现有市场及客户的需求；三是丰富的市场资源，苏州恩腾现已经成功进入国内几家主流大型半导体集团的合格供应商名录，并且成功为国内多家半导体企业提供过技术服务。

恩腾半导体2021年销售起量，同比增长至少5倍，业绩承诺2021年至2023年其累计净利润不低于3000万元，或2022年至2024年3年累计净利润不低于3500万。

二、为与恩腾协调发展，公司设立苏州飞鹿半导体，进军半导体材料产业，公司骨干由中国科学院团队和十数年半导体资深人士组成。飞鹿半导体快速拓展半导体清洗设备业务及配套服务，稳妥开发半导体涂胶、显影设备，重点开拓抛光布、抛光液。在半导体业务布局上，两块业务均为两市唯二，对标盛美和鼎龙，半导体清洗设备龙头盛美总市值超过500亿，清洗液抛光垫等材料龙头鼎龙股份总市值也超过200亿，飞鹿股份目前才15亿市值，显然有巨大的估值差。

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