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盖世神童
中线波段
2021-08-19 20:12:32
感谢
@韭菜斌: 上海微电子全新一代光刻机预计在2021年年底或2022年初量产下线?,其采用与ASML DUV光刻机相同的光源技术,不过是国产的。 这种光源其实是科益虹源研发的,能够用在DUV设备上 。也就是说,上海微电子的全新一代光刻机能够用于生产制造28nm到10nm之间的芯片,甚至可以采用多层曝光技
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