【中泰电子|量/检测设备】大空间 低自给率，看好国产厂商成长性大陆量/检测空间超30亿美金，自给率不足3%【空间大】量测 检测设备2022年全球市场规模86亿美元/大陆约30亿美元，仅排在光刻/刻蚀/薄膜设备之后。【国产迫切】量/检测市场由美国KLA垄断，中国大陆自给率不足3%。国产陆续突破，头部厂商快速放量【中科飞测】主营无图形检测、图形检测、形貌量测设备等，套刻量测、纳米图形检测研发中。公司目前已覆盖量/检测设备领域达27.2%，未来研发落地，覆盖范围有望增至62.6%。公司2022年末合同负债和发出商品分别增长211.57%和77.14%，业务快速发展。深度报告：【精测电子】公司在明场、电子束、晶圆缺陷检测、膜厚、关键尺寸、三维形貌、硅片应力设备均取得订单。2022年公司量/检测设备相关的半导体订单同比大幅增长，截至23年4月，半导体在手订单8.91亿元。相较22年半导体业务1.8亿元营收，公司在手订单预示强劲成长动能。【中微公司】（睿励仪器）睿励仪器主营光学膜厚测量 缺陷检测 硅片厚度及翘曲测量设备等，其膜厚产品TFX3000 系列，已应用于65/55/40/28nm产线并在进行14nm工艺验证，同时正在验证96层3D NAND芯片生产。睿励22年营收7186万元。近期中微公司通过竞购，对睿励持股比例有望增至41.5%，受益于量/检测国产化的程度持续加深。近期点评：重点关注量/检测核心标的：中科飞测/精测电子/中微公司/赛腾股份/天准科技风险提示：量测设备验证不及预期；竞争格局变差。派点请支持中泰电子：王芳/杨旭/游凡/李婧悦