【底层国产化】半导体设备行业标准化工作持续推进

工信部网站显示，《2023年第五批行业新产业标准项目计划表》发布公示，行业标准化目的是为了持续完善新兴产业标准体系建设，充分发挥标准的行业指导作用，引领新产业高质量发展。部分半导体设备行业标准入选，具体如下：

1、刻蚀设备，主要起草单位：中电科48所、中国电子技术标准化研究院、湖南楚微（扬杰）、中芯国际、北方华创、中微公司、晶合集成。

2、CMP设备，主要起草单位：中国电子技术标准化研究院、华海清科、致真存储、中芯国际、中电科48所、湖南楚微（扬杰）、烁科、晶合集成。

3、湿法设备，主要起草单位：中国电子技术标准化研究院、中电科48所、湖南楚微（扬杰）、中芯国际、北方华创、至纯科技、芯源微、晶合集成。