半导体国产化核心标的:
一、EDA软件:概伦电子、华大九天、广立微。
二、CPU/GPU和AI芯片:海光信息、龙芯中科、寒武纪。
三、设备。
① 光刻机:上海微电子(未上市,张江高科持股)。
② 刻蚀机:中微公司、北方华创。
③ 薄膜沉积设备:北方华创、拓荆科技。
④ 原子层沉积设备:拓荆科技。
⑤ 化学机械抛光设备:华海清科。
⑥ 清洗设备:盛美上海、北方华创、芯源微。
⑦ 离子注入机:万业企业。
⑧ 涂胶显影设备:芯源微。
⑨ 去胶设备:屹唐股份(拟上市)、北方华创。
⑩ 高精密温控:同飞股份(±0.02°精度唯一)、京仪装备。
四、材料。
(1)硅片:沪硅产业、神工股份、立昂微。
(2)电子特气:华特气体、雅克科技、昊华科技、多氟多。
(3)抛光垫:鼎龙股份。
(4)抛光液:安集科技。
(5)光刻胶:晶瑞电材、南大光电、彤程新材、上海新阳、容大感光、华懋科技等。
(6)湿电子化学品:多氟多、江化微。
(7)溅射靶材:江丰电子、阿石创。
五、晶圆代工:中芯国际、华虹半导体、华润微。