$国林科技(SZ300786)$

1、半导体业务主要的竞争对手？ 主要为国外企业。高浓度的臭氧水的半导体的设备竞争对 手，水机领域竞争对手主要是美国的 MKS，半导体沉积方面，有 美国 MKS 和德国的安斯罗斯，目前国内的同类的产品是没有的。

2、公司目前的竞争优势？ 公司在对关键的问题进行攻克，未来有望能够填补国内这些 产品的空白，能够去参与竞争，把产品性能指标做到满足适合于 半导体领域，最终实现对进口设备的替代。此外，国产设备的售 后服务问题会大大改善，能够快速解决现场问题。

3、行业竞争壁垒？ 研发技术门槛较高，周期较长，具有专利壁垒。目前与国外 竞争对手存在技术差距。

4、半导体业务是否已经到检测阶段？什么时候能够对接？ 正在进行数据检测阶段，目的是达到半导体的使用要求。具 体时间需根据检测结果而定。

5、出数据的过程大概需要多长时间？ 目前正在组装设备和进行净化车间的实施，公司研发任务为 今年底要有阶段性的数据产生。

6、市场空间有多大？ 90%为国外进口，市场规模没有具体数据。半导体的制成过 程当中，有很多的工序，每一道工序后面都会跟随着清洗工艺， 而臭氧设备主要有几个方面，前段阶段，就是沉积方面用的是高 浓度的臭氧气体，在后期阶段是光刻胶清洗，还有一些其他的清 洗装置，清洗过程当中会用到公司的装置。

7、哪些半导体领域会用到臭氧清洗？ 半导体制程过程中有很多的清洗工序，高浓度的臭氧气体用 于前段的沉积制程，超纯高浓度臭氧水多用在后端，替代以往强 酸强碱的工序。

8、用于半导体行业的臭氧水设备的价格？ 目前进口设备一台大概在 150~200 万人民币不等，根据配置 要求不同价格不同。

9、半导体领域对臭氧浓度的具体指标？ 不同行业对臭氧的浓度需求不同，面板行业 5ppm，光伏行 业 10ppm，晶圆加工 80ppm。

10、客户对臭氧检测装置一般标准？ 嫁动率大于等于 98%，无故障工作时间大于等于 2000 个小 时。且都要求有相关的行业经验或业绩，所以公司决定自行组织 测验，可邀请行业专家来考察指导，然后再推向市场得到认可。

11、客户认证的难度？ 目前处于公司自行检测阶段。下游企业要求有相关的经验或 者应用案例，没有业绩支撑很难进入该行业。 半导体行业核心部件之前被国外企业控制，并且设备的维修 费用特别高。公司潜心研发，以实现对进口设备的替代。国林在 各个领域采取积极的动作。半导体领域公司有足够的信心，在技 术和性能上超越同行企业。