中报点评：

广东华特气体股份有限公司成立于1999年，是一家致力于特种气体国产化，并率先打破极大规模集成电路、新型显示面板等尖端领域气体材料进口制约的民族气体厂商，主营业务以特种气体的研发、生产及销售为核心，辅以普通工业气体和相关气体设备与工程业务，提供气体一站式综合应用解决方案。自2005年起，公司确定以特种气体为研发方向，经过近十几年的发展，公司的技术积累日益深厚，在气体产品品类上、核心技术研发了、国内8寸半导体客户覆盖上、仓储、物流、服务配套上，形成了强有力的竞争壁垒。

2021年上半年公司归母净利0.66亿元，同比增54%；其中21Q2单季归母净利0.38亿元，同增45%，环增36%。上半年，半导体市场需求放量带动电子特气业务增长：

1）特种气体同比增56%；

2）普通工业气收入同比增34.3%；

3）设备与管道工程业务同增61.4%。

公司上半年已给新增客户长鑫、泰科天润供货。高纯氨已通过上海积塔半导体8寸产线谁，高纯锗烷已通过德国最大半导体厂英飞凌的认证。

国家节能减排政策下，下游客户把包装物原钢瓶、杜瓦替换了低温压力容器，储存量显著上升，也为下游降低了物流成本，并为公司设备方面带来了增长。

纪要正文：

Q1: 特气、普通工业气、设备与工程三大板块收入拆分，毛利率？

A：上半年，特种气体收入有3.7亿，毛利率为38-40%，普通工业气体收入有1.2亿，毛利率为15-16%，设备收入有1.5亿，毛利率为20%左右。新的会计准则下，运费从销售费用中扣除变成了成本，如果转换回以前的计算标准，毛利率按照可比口径实际同比还是有所提升的。特种气体中纯半导体电子特气占比保持在65%，民用特种气体占比接近18%，剩下是LED和光伏，上半年LED和光伏等业务有所提升。

Q2: 毛利率提升的地方

A：去年毛利率34%，还原了之后毛利率今年在33%。下游替换钢瓶替换了低温压力容器，普通工业气体一次性运输成本降低，整体毛利影响不多。

Q3:半导体生产环节中，气体品类的全球电子特气市场空间占比

A：半导体市场中，硅烷占22%，三氟化氮（清洗）占13%，氟碳类占6%，液体掺杂占4%，离子注入气占10%，锗烷占3%，高纯氨占3%，六氟化钨、高阶电子材料占9%，其他占14%。

Q4: 特气总共多少种，公司现在能做到多少？

A：相关报告称可能有100多种，公司光单分子气体有40-50种，算上混合气公司目前在供产品涉及到50-60种。因为混合气很多。

Q5: 制程节点越先进，电子特气使用是否越多？

A：电子特气在先进制程过程中成本占比大概13%，芯片需求量扩大后，对应气体产品也会有增幅。根据SEMI，全球半导体有46亿美元市场，2019-2020年由于疫情需求量持平，2021年会几个亿的提升，带动电子特气需求份额也会上升。

Q6: 公司电子特气产品中半导体占比65%，其中氟碳类气体占比，其他气体占比？

A：氟碳类在半导体产品中占30%，光刻类气体增速快，占比达到35%，其他主要是清洗类，另外还有含氧类、离子注入气等，占比不大。

Q7：氟碳类气体外采再提纯还是直接合成制造？

A：氟碳类主要是纯化，但像八氟丙烷（C3F8）是合成的。氟碳有20几种，很多是化工副产品，公司做了20种，既有纯化也有合成。

Q8: 拓展品类主要是？未来一年内计划？

A：主要拓展硅其类、碳氢类，也有氧化类。明年锗烷、乙硅烷、半导体用硅烷、碳氢类（乙烯、丙烯）、氟碳类延伸品种（六氟丁二烯）都会量产。主要在九江生产，如果疫情不影响计划9月底访问现场，已经开始正式生产，生产一部分氟碳类，下半年订单供不应求。

Q9: 新产品验证周期多久？

A：要看品种，验证有5个阶段，每个阶段至少半年到1年。跟同行相比，公司先发优势明显，如果做新品种，公司前2-3个验证阶段比较快。

Q10: 下半年哪些客户有订单，哪些客户在验证？

A： 下半年长江存储不断扩量，长鑫、中芯国际相对来说小幅度扩量，国外三星只要过了总公司认证，三星西安就能免去前期认证，很快可以导入，海力士也有增量，英特尔、德州仪器也是客户。公司运往海外的产品都是爆满的，但目前国际航运情况还是有所影响。

Q11: 大客户是哪几家晶圆厂，占到份额？

A：上半年半导体客户最大还是长存，增速明显，去年只有6%，今年占到10%的份额。另外中芯国际、华润微、华虹仍保持着增速。

Q12: 未来在中芯国际的进展

A： 去年有新增，像是中芯宁波、中芯深圳、中芯天津，公司总共有十几个产品在认证，所有产品不会同时认证通过，从认证的产品和数量上来看，如果全部通过，订单量的增长会明显。另外公司也有给到中车6-7个产品去认证，都是随着时间慢慢有订单产生，单个品种的量不是特别大，增长不会很明显，但对于新客户来说产品从无到有，慢慢从一个产品变成几个产品，份额也就会不断上升。

Q13: 积塔8寸、12寸扩产片数？

A：还不清楚。要供货的时候才会探讨。

Q14: 中报里气体在沉积成膜这一块可以叫前驱体，公司和雅克的异同，性能对比如何？

A：前驱体本身品种多，几十种到上百种，公司第一阶段专注含硅前驱体，也是硅烷类的延伸，比较容易一些。雅克收购了UP Chemical，仅公司所知，雅克现在还没有在国内实现真正的生产，而且雅克和公司生产的品种不完全一样。公司竞争对手主要林德以及日本几家。

Q15: 前驱体用在几纳米制程为主？

A: 打个比方像TEOS前驱体用在14nm以下都有，TEOS在反应方面取代硅烷，28nm以下都用得到，一些8寸厂也有用得到，制程越先进用得越多。

Q16: 公司纯化、气体混合、气瓶处理有很高壁垒，今年研发投入、研发人员增长如何？

A：研发上半年投入同比增长30%多。公司是研发性公司，公司一直有储备和研发计划，通过市场调研也会做一定调整，但基本按照公司需求和客户需求来储备，公司每年计划研发2-3个新品种。公司研发人员比较稳定，在请研发专家这方面一直有交流。硅基类电子级产品国内全部都是进口的，公司想把这类卡脖子的产品做出来，所以公司的硅类产品有引进美国的前端技术，这也算公司除了聘请专家外的一种合作方式。公司也有和国内其他有领先优势的公司展开沟通、共同研发产品，例如三氟化氯。

气体类别多，没有某个专家能做到全通，唯有纯化通用性比较强，合成基本没有通用性，比如乙硅烷和四氟化碳的合成完全不是一回事，所以公司专注于做纯化的研发，合成方面公司的战略是引进吸收。纯化的可用方法与实验结果比较多，合成方面少，以前做过的数据和化学反应在产品之间相互不适用。

公司有请到林德的稀有气体专家顾问，接下来也会做稀有气体方面的工作，这一块也比较大。

总得来说，公司研发路径比较多元。

Q17: 外延并购考虑，品类扩张是否考虑国外一些标的？大宗气体经营区域横向扩张？

A：公司招聘了林德、法液空、美国AP等人才。国内公司在东莞收购了一个特气公司，布局了粤东地区半导体公司的输送、渠道基地。公司国内外两条路都不会放弃。公司尤其看重海外特气公司，因为海外估值相比国内低，但目前全球对半导体的战略都很看重，受国外政策影响，不一定会轻易卖给我们，但公司也有战略规划，接触海外的标的。

Q18: TEOS（正硅酸乙酯）取代硅烷？用量？

A：对。它与氧化类反应变成氮化硅或者氧化硅这样，主要是取代硅烷用在沉积上。正硅酸乙酯主要用它的硅，硅作为基础材料。刻蚀的材料是氟。硅烷在沉积反应方面控制难度会上升，制程越先进的纯度要求会很高，TEOS纯度比硅烷高，硅烷在纳米数更低的情况下，良率会下降，电阻率也会受影响。现在有几种做法，一种用锗替代硅，一种是避开杂质、金属物的影响，总之对硅的要求会越来越高。

Q19: 国产化率达到了什么水平，海外龙头电子特气占比；气体设备厂商、大宗气体公司也想进入电子特气领域的现象怎么看？

A：特种气体包括电子大宗、电子特种气体，全包括的情况下国产化率只有10%多，只看电子特气的话是国产化率30%左右。同行中有一些公司确实有产品扩张，像是杭氧，公司本身也希望在电子大宗拓展。公司做电子大宗会相对容易，但如果一个公司没有接触过特种气体领域，它的时间成本高，因为公司在特气深耕了十几年，国产替代也只实现了24-25个，这说明这个领域的技术壁垒存在，有一些公司现在要开始追赶的产品，公司2007年就开始做了，时间上就存在着很大的差距，公司也不会停滞，仍会继续提升技术亮点，继续研发。

同行业竞争一直存在，想做电子特气的公司很多。当然现在格局不太一样，杭氧、金宏、雅克等等企业都上市了，公司走的路线跟大家不完全一样。公司走的是纯化路线，纯化相容性高，一个气体的纯化经验可以在其他产品上借鉴，公司气体品种会越来越多，经验越来越丰富，因为纯化是不断组合纯化方法来做的，颗粒度、金属离子等都有要求，别的公司需要的时间很长，公司07年的时候还是在99.999%纯化到99.99999%这个阶段，现在已经完成了这个阶段的要求，所以其他公司很难弯道超车。

合成方面则是各显神通，每个公司都有可能做出合成方面有优势的产品，但单个产品份额都只有一点，像磷烷可能需求量就几千万，可能已经有好几家公司在做了，而投资又大，又危险，所以是否有很多公司前赴后继去做还有待商榷。特气既有技术壁垒，还有市场壁垒，公司还是比较有优势。