(国产半导体材料替代概念)
根据用途的不同,电子级氢氟酸被分为EL、UP、UPS、UPSS。
其中UPSS级别是目前最先进的级别,国内目前仅有多氟多生产和大规模应用。
多氟多(G5或 UPSSS 级别,能达到 12 寸晶圆使用需求)、滨化股份(G4 或 UPSS 级别)
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