(电报解读】佳能推出纳米压即半导体制造 设备，纳米压印可降低芯片生产成本，这 家公司具有微纳米压印模具开发优 州 心门 电报解读 2023.10.1313:02 星期五 //电报内容 【日本佳能推出纳米压印半导体制造设备 可执行电路图案转移】财联社 10 月 13 日 电，日本佳能公司 10 月 13 日宣布推出 FPA-1200NZ2C 纳米压印半导体制造设备， 该设备执行电路图案转移，这是最重要的 半导体制造工艺。据佳能介绍，传统的光 刻设备通过将电路图案投射到涂有抗蚀剂 的晶圆上，而新产品通过在晶圆上的抗蚀 剂上压印有电路图案的掩模来实现这一点， 就像邮票一样。由于其电路图案转移过程 不经过光学机构，因此可以在晶圆上忠实 地再现掩模上的精细电路图案。 //电报解读 一、纳米压印可降低芯片生产成本 据公开资料显示，纳米压印技术，即 NanoimprintLithography(NIL),是一种新型的 微纳加工技术。该技术将设计并制作在模 板上的微小图形，通过压印等技术转移到 涂有高分子材料的硅基板上。纳米压印的 分辨率由所用印模板图形的大小决定，物 理上没有光刻中的衍射限制，纳米压印技 术可以实现纳米级线宽的图形。 据 DIGITIMES,SK 海力士 2023 年引进日本光 学设备厂佳能纳米压印微影生产设备，正 在进行测试与研发，目标在 2025 年左右将 该设备用于 3D NAND 量产。 二、机构称纳米压印设备独具优势 东北证券称，纳米光刻设备和纳米压印设 备独具优势，将推动波导镜片产业化。西 部证券表示，纳米压印是表面浮雕光波导 技术的其中一环，采用表面浮雕光栅替代 传统折反射光学元件可实现二维扩瞳，扩 大眼动范围，生产制造难度也相对较低。 华泰证券也指出，纳米压印技术是光栅产 业链重要核心技术。 三、相关上市公司：炬光科技、汇创达 炬光科技：近期在接受调研时表示，公司 目前已布局的光学加工工艺包括晶圆级同 步结构化技术、精密模压、冷加工、注塑、 纳米压印等，得以覆盖无机材料、有机高 分子材料等各类微光学元器件的加工制备。 汇创达：公司专注于导光结构微纳米热压 印生产工艺的自主研发。具备较强的技术 实力和研发能力，作为国家级高新技术企 业和深圳市高新技术企业，通过自身在光 学微结构设计、微纳米压印模具开发、自 动化制造等核心环节多年积累的技术优势， 为公司产品在输入设备导光结构件及组件、 精密按键开关结构件及组件等细分业务领 域取得竞争优势奠定了坚实基础。 

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